Датчик Crystal 12

Автоматическое переключение кристаллов увеличивает время напыления

Датчик INFICON Crystal 12 автоматически меняет кристаллы, не прерывая ваш процесс, в случае, если он работает совместно с контроллером осаждения тонких пленок INFICON IC6.Каждый раз, когда кристалл становится нестабильным или выходит из строя, IC6 подает сигнал на карусель датчика Crystal 12, чтобы немедленно повернуть новый кристалл в нужное положение для непрерывного контроля скорости осаждения. Чтобы еще больше минимизировать время простоя, кристаллы можно предварительно загрузить во вторую дополнительную карусель, которую затем можно быстро и легко заменить использованные кристаллы, что минимизирует время простоя системы.

Функции


  • Вмещает 12 кристаллов. Имеет надежное автоматическое переключение, для максимального увеличения времени безотказной работы
  • Легко снимаемая карусель позволяет быстро заменить все 12 кристаллов
  • Стабильная температура кристалла, поскольку переключение кристаллов осуществляется с помощью пневматического привода (в конкурирующих устройствах используются двигатели, генерирующие тепло)
  • Легко снимаемый защитный экран защищает кристаллы и карусель от накопления осаждаемого материала, сводя к минимуму необходимость снимать для обслуживания весь датчик
  • Опционально: дополнительный комплект монтажных стоек для установки метрического оборудования
  • Характеристики

    Тип Датчик Crystal 12
    Максимальная температура прогрева без воды 130°C
    Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды 300° C
    Размеры (максимальные габариты) 4.0 дюйм. (102 мм) диаметр. x 3.3 дюйм. (84 мм) высота 4.75 дюйм.

    (121 мм) диаметр. x 3.46 дюйм. (88 мм) с опциональными монтажными стойками
    Длина трубок воды, воздуха Стандартно 30 дюйм. (762 мм)
    Замена кристаллов Загрузка спереди
    Монтаж Шесть резьбовых отверстий # 4-40 на задней части корпуса датчика, шесть резьбовых отверстий # 4-40 на внешней окружности. Три резьбовых отверстия # 6-32 с дополнительным монтажным комплектом (IPN 750-670-G1).
    Масса 4.92 фунт. (2.23 кг)
    Требования к установке  
    Feedthrough

    Кол-во (1) 2-3/4 дюйма ConFlat с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха, IPN 750-685-G1,

    или,

    Кол-во (1) 750-685-G2, с одним коаксиальным вводом, 3 ввода с компрессионными фитингами Ultra-Torr

    или

    Кол-во (1) болт 1 дюйм с одним коаксиальным вводом, 2 ввода воды, 1 ввод воздуха IPN 750-030-G1

    Монтаж Пользователь должен предоставить монтажное крепление, способное выдержать вес Crystal12, а также обеспечить простое снятие и замену с минимальным изменением точного положения. Для этой цели можно приобрести дополнительный комплект монтажных стоек IPN 750-670-G1.
    Подключение воды и воздуха Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные и воздушные трубки. Воздушный клапан в сборе, IPN 750-420-G1 (не входит в комплект), с ограничивающей диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливается пользователем. (Диафрагма входит в комплект аксессуаров Crystal12.)
    Средства обеспечения Минимальный расход воды 150-200 см3/мин, 30 °C макс. (Не позволяйте воде замерзать). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. 80–90 PSIG (5,5–6,2 бар) [550 кПа - 620 кПа]. Максимальная длина трубопровода 1/8 дюйма между головкой датчика и электромагнитным клапаном составляет 2 метра.
    Материалы  
    Пластина, защитный экран, механические детали, корпус и карусель Нержавеющая сталь 304
    Пружины, электрические контакты Be-Cu с золотым покрытием, нержавеющая сталь 302 с золотым покрытием
    Водяные и воздушные трубки S-304, 0.125 дюйм. (3.2 мм) внешн.диаметр. x .016 дюйм. (0.4 мм) Толщина стенки x 30 дюйм. Длина (762 мм) бесшовные трубы из нержавеющей стали
    Разъем Нержавеющая сталь
    Изоляторы Тефлон, Peek®
    Кабели Сталь с тефлоновой изоляцией и медным покрытием
    Кристалл 0.550 дюйм. (13.97 мм) диаметр
    1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг):  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON®
    Температура Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Отверстие диаметром 1.015 дюйм. ±0.010 дюйм.
    Сварной фланец CF 40:  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий
    Температура Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.
    Crystal12_OrderChart_2013_web-01.png

    Аксессуары

    Наименование Описание
    Вакуумный ввод для датчиков QCM Вакуумный ввод для датчиков QCM
    Датчик Crystal 12 Sensor
    Каталожный номер Описание
    750-420-G1 Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками)

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы

    Запасные части

    Датчик Crystal 12
    Каталожный номер Описание
    750-276-P3 Крышка привода
    750-644-G1 Корпус
    750-658-G1 Защитный экран
    750-286-P2 Пневматический привод
    750-291-P1 Фиксатор
    750-294-P2 Стопор трещотки
    750-293-P2 Трещотка
    750-256-P2 Пружина растяжения
    750-252-P2 Подставка под пружину
    750-649-G1 Электрическое разъем
    750-295-G1 Собачка и привод
    750-258-P2 Подшипник вала
    070-0779 Подшипник
    750-652-G1 Карусель
    750-650-P1 Пластина с отверстием (без установочного штифта)
    070-1253 Установочный штифт
    750-651-P1 Поддержка цепи резисторов
    750-655-P1 Резисторный сетевой изолятор
    750-642-G1 Цепь резисторов
    750-661-P1 Контактный терминал (компонент карусели)
    750-656-P1 Изолятор кристалла (компонент карусели)
    321-038-P6 Листовая пружина (компонент карусели)
    750-657-P1 Заземление листовой пружины
    750-671-P1 Торсионная пружина
    750-626-P1 Пружина крышки распылительной головки
    750-647-P1 Шпиндель
    070-1268 Подшипник шпинделя (компонент шпинделя)
    070-1254 Стопорная Е-образная шайба (компонент шпинделя)
    750-660-P1 Центрирующий винт (компонент шпинделя)
    007-126 0.125 дюйм. x 30 дюйм. (3.175 мм x 762 мм) бесшовные трубы
    070-201 #4 Шайба Гровера
    084-004 #4-40 X .187 Болт с внутренним шестигранником
    070-398 Стопорное кольцо
    070-0867 Прокладка вала
    070-170 #2 Шайба Гровера
    070-177 #4-40 X 3.12 Болт с шестигранной головкой
    080-038 #0-80 x .375 Винт с круглой головкой Phillips
    082-032 #2 Внутренняя шайба Гровера
    082-045 #2-56 x .187 Винт Phillips
    084-054 #4 шайба Гровера
    082-022 #2 Плоская шайба
    082-024 #2-56 x .250 Болт с внутренним шестигранником
    750-292-P2 Проставка фиксатора
    080-013 #0-80 Разрезная шайба
    080-007-P1 #0-80 x .170 Плоская шайба
    080-009-P1 #0-80 X .188 Болт с внутренним шестигранником
    084-048 #4-40 x .250 Винт с плоской головкой
    750-665-P1 #2-56 Винт с буртиком торсионной пружины
    084-093 #4-40 x 1.125 Болт с внутренним шестигранником
    086-084-P2 #6-21 x 1/8 установочный винт
    086-041 #6 Плоская шайба
    086-038 #6 Шайба Гровера
    086-036 #6-32 x 3/8 болт с внутренним шестигранником
    Вакуумные кабели
    321-039-G12 Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.)
    007-252 Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.)
    321-039-G11 Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.)
    007-044 Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)
    007-059 Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.)
    007-061 Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G13 Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G14 Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G15 Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU
    321-039-G16 Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.