• print this site
XTC3_web.png

Датчик распыления


Датчик распыления INFICON специально разработан для использования в любых процессах распыления. Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди с золотым покрытием для максимальной эффективности охлаждения в процессах распыления. Магнит, встроенный в головку датчика, снижает чрезмерный нагрев от энергичных свободных электронов, отклоняя их внешним магнитным полем. Конструкция держателя кристалла с загрузкой сзади позволяет легко менять кристалл без необходимости извлечения сенсорной головки из системы.

Функции


  • Позолоченные корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиевой меди для максимальной эффективности охлаждения
  • Магнит для отклонения свободных электронов от кристалла
  • Простая установка с помощью гибких водяных трубок
  • Кристалл вставляется сзади, что обеспечивает легкую замену

    • Характеристики

    Тип Датчик распыления
    Максимальная температура прогрева без воды 105°C
    Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды 400° C
    Размер (максимальные габариты) 1.36 дюйм. OD x 0.69 дюйм. высота (3.45 см x 1.75 см)
    Длина трубок воды, воздуха и коаксиального кабеля Стандартно: 30 дюймов (76.2 см)
    Замена кристаллов Загрузка сзади
    Монтаж Осуществляется заказчиком
    Требования к установке  
    Ввод

    2 ввода воды с коаксиальным разъемом

    2¾ дюйм. ConFlat® Фланец – IPN 002-043

    Болт 1 дюйм – IPN 002-042

     
    Остальное

    1) Заказчик должен обеспечить герметичные паяные соединения или разъемы под водяные трубки.

    2) XIU или осциллятор, предназначенный для взаимодействия с конкретным контроллером осаждения.
    Расход воды Минимальный расход воды 750 см3/мин, макс 30 °C (Не допускать замерзания). Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. В случае, если трубка продит через криогенный кран и поток воды остановлен, необходимо слить воду из трубок.
    Материалы  
    Корпус и держатель Au покрытый Be-Cu
    Пружины, электрические контакты Au покрытый Be-Cu
    Трубки охлаждения Au покрытый Be-Cu, 0.125 дюйм. (0.32 см) - внешний диаметр
    Разъем Нержавеющая сталь 304
    Изоляторы 99% Al2O3
    Кабели Медь с тефлоновой изоляцией
    Припой Сплавы серебра и индия (без кадмия)
    Кристалл 0.550 дюйм. (1.4 см) Диаметр
    Магнит Сплав ALNICO 5
    Опционально: заслонка в сборе 750-005-G1 Характеристики:  
    Температура 130° C
    1-дюймовый болт и фитинг Ultra-Torr (компрессионный фитинг):  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий, VITON®
    Температура Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма
    Сварной фланец CF 40:  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон, керамика, никель бериллий
    Температура Условия эксплуатации до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Сопрягается с фланцами ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.

    Датчик распыления
    Каталожный номер Описание
    750-618-G1 Датчик распыления (только сенсор, вакуумный ввод в комплект не входит)

    Аксессуары

    Наименование Описание
    Вакуумный ввод для датчиков QCM Вакуумный ввод для датчиков QCM
    Датчик распыления
    Каталожный номер Описание
    750-005-G1 Пневматическая заслонка для датчика распыления (только заслонка в сборе, датчик в комплект не входит)
    750-420-G1 Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонками и многокристальными датчиками)

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы

    Запасные части

    Датчик распыления
    Каталожный номер Описание
    007-023 Керамический фиксатор
    007-049 Держатель кристалла, датчик распыления
    007-007 Пружина стопорная (для держателя кристаллов)
    007-047 Крышка распылительной головки с водяными трубками
    007-009 Магнит для крышки распылительной головки
    070-0440 Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе)
    070-0442 Стопорное кольцо (установлено на валу заслонки в сборе)
    070-0441 Рокладка (установлена на валу заслонки в сборе)
    082-044 Тефлоновый крепеж (для листовой пружины)
    082-029-P1 2-56 x 1/8 дюйм. установочный винт корпуса распылительной головки 750-619-G1
    750-009-P2 Поворотная крышка (устанавливается на вал заслонки в сборе)
    750-046-G2 Заслонка в сборе для сборки пневматической заслонки
    750-048-P1 Стопорная пружина для корпусов распылительных головок 007-048 и 751-619-G1
    750-115-P4 Муфта (устанавливается на сильфон)
    750-169-P4 Сильфон в сборе для пневматической заслонки
    750-174-P2 Коаксиальный кабель (мама)
    750-175-P1 Изолятор (под листовую пружину)
    750-188-P3 Листовая пружина
    008-007 ДЕРЖАТЕЛЬ КРИСТАЛЛА
    750-619-G1 Корпус распылительной головки с коаксиальным разъемом
    750-626-P1 Пружина для крышки распылительной головки
    Вакуумные кабели
    321-039-G12 Вакуумный кабель, 15.2 см (6 дюйм.)
    007-252 Вакуумный кабель, 30.5 см (12 дюйм.)
    321-039-G11 Вакуумный кабель, 61.0 см (24 дюйм.)
    007-044 Вакуумный кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)
    007-059 Вакуумный кабель, 91.4 см (36 дюйм.)
    007-061 Вакуумный кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G13 Вакуумный кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G14 Вакуумный кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G15 Вакуумный кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU
    321-039-G16 Вакуумный кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и 4 м XIU

    Спецификации

    Руководства

    Каталоги

    Остальные файлы

    • to top
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.