Двойной датчик с загрузкой cпереди


Датчики INFICON с креплением спереди на двух кристаллах обладают доказанной надежностью и долговечностью, а также имеют лучшую термостойкость среди всех сенсорных головок на рынке. Двойной датчик имеет резервный кристалл, необходимый в критических процессах в случаях, когда желательно, чтобы второй кристалл находился в вакуумной камере.

Конструкция с креплением спереди позволяет легко вставлять кристалл в держатель в тех применениях, где недостаточно места для крепления сбоку. Детали, собранные механически, а не паяные, при необходимости можно легко заменить на месте. Датчики можно заказать индивидуально или в комбинации датчик + ввод, они могут быть сварены или собраны с помощью компрессионных фитингов.

Функции


  • Двойной кристалл
  • Заслонка на кристалл
  • Держатель кристалла спереди
  • Простая установка
  • Доступен с отверстием для болта 2,54 см (1 дюйм) / вводом CF40
  • Регулируемая длина при заказе с компрессионными фитингами
  • Сенсор доступен с вводом, длина указывается заказчиком
  • Пайка не требуется, если были заказаны компрессионные фитинги или ввод приваривается к входному отверстию
  • Харакетеристики

    Тип Двойной датчик с передней загрузкой
    Максимальная температура прокаливания (без воды) 130° C
    Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды 400° C
    Размер (максимальные габариты без заслонки) 1.54 дюйм. x 3.23 дюйм. x 1.95 дюйм. (39.12 мм x 82.04 мм x 49.54 мм)
    Водяная трубка и длина коаксиального кабеля датчика «E» Стандарт 30 дюйм. (762 мм)
    Замена кристаллов Загрузка спереди; упаковка для простоты замены. Заслонка откидывается, чтобы облегчить доступ к держателям.
    Монтаж Два резьбовых отверстия # 4-40 на задней стороне корпуса датчика
    Требования к установке  
    Ввод Кол-во (1) 2? дюйма (69,85 мм) ConFlat® с 2 точками Microdot®, 2 входа для воды и воздуха или Кол-во (1) Болт 1 дюйм (25,4 мм) с 2 микроточками, 2 входа для воды и воздуха.
    Остальное 1) Узел клапана для воздуха - IPN 750-420-G1.

    2) Два осциллятора или один осциллятор и коммутатор 779-220-G1 CrystalTwo, предназначенный для взаимодействия с контроллером осаждения.

    3) Для автоматической работы, контроллер процесса осаждения должен быть разработан с учетом этой функции.
    Требования к воде и воздуху 1) Минимальный расход воды 150-200 куб.см мин, макс 30 °C (не допускать замерзания). 2) Воздух, 80 PSIG (5,5 бар) [552 кПа] очень маленький объем, НЕ ПРЕВЫШАТЬ 110 PSIG (7,6 бар) [760 кПа]
    Качество воды Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. Очень грязная вода может привести к потере охлаждающей способности.
    Материалы  
    Корпус и держатель Нержавеющая сталь 304
    Пружины, электрические контакты Au покрытый Be-Cu
    Трубки охлаждения Толщина стенки (бесшовные трубки из нержавеющей стали S-304), 0.125 дюйм. (3.175 мм) O.D. x 0.015 дюйм. (0.381 мм)
    Разъем (Microdot) Нержавеющая сталь, Тефлон® и стекло
    Изоляторы >99% Al2O3
    Кабели Медь с тефлоновой изоляцией
    Прочие механические детали 304 или 18-8 нержавеющая сталь
    Пайка Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr
    Кристалл 0.550 дюйм. (13.97 мм) Диаметр
    Характеристики ввода (1-дюйм. болт и Ultra-Torr - компрессионный фитинг):  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон®, керамика, бериллий никель, VITON®
    Температура Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Установка Отверстие диаметром 1,015 ± 0,010 дюйма
    Характеристики сварного ввода CF 40 (2 3/4 дюйма, ConFlat):  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон®, керамика, бериллий никель
    Температура Условия эксплуатации: до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Установка Подходит для фланцев ConFlat 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.
    FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

    Аксессуары

    Наименование Описание
    Вакуумный ввод для датчиков QCM Вакуумный ввод для датчиков QCM
    Двойной датчик с передней загрузкой
    Каталожный номер Описание
    750-420-G1 Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонкой и многокристальными датчиками)

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы

    Запасные части

    Двойной датчик с передней загрузкой
    Каталожный номер Описание
    007-007 Пружина стопорная (для держателя кристаллов)
    007-023 Керамический фиксатор
    080-018 Установочный винт (коаксиальный, мама)
    082-044 Тефлоновый крепеж (для листовой рессоры)
    008-007 ДЕРЖАТЕЛЬ КРИСТАЛЛА
    750-115-P4 Муфта (устанавливается на сильфон)
    750-169-P2 Сильфон в сборе (муфта в комплект не входит)
    750-171-P1 Пружина пальца держателя
    750-172-G1 Держатель кристалла (включая стопорную пружину)
    750-174-P2 Female coax
    750-175-P1 Изолятор (под листовой рессорой)
    750-188-P3 Листовая рессора
    750-210-G1 Модуль заслонки (узел сильфона, узел вала и узел заслонки)
    750-215-G1 Вал в сборе (часть модуля заслонки)
    750-216-G1 Заслонка в сборе (часть модуля затвора)
    Вакуумные кабели
    321-039-G12 Вакуумнй кабель, 15.2 см (6 дюйм.)
    007-252 Вакуумнй кабель, 30.5 см (12 дюйм.)
    321-039-G11 Вакуумнй кабель, 61.0 см (24 дюйм.)
    007-044 Вакуумнй кабель, 78.1 см (30.75 дюйм.)
    007-059 Вакуумнй кабель, 91.4 см (36 дюйм.)
    007-061 Вакуумнй кабель, 121.9 см (48 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G13 Вакуумнй кабель, 154.2 см (60 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G14 Вакуумнй кабель, 182.9 см (72 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock
    321-039-G15 Вакуумнй кабель, 3.5 м (137.8 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и XIU 4 м
    321-039-G16 Вакуумнй кабель, 4 м (157.5 дюйм.) - Требуется контроллер ModeLock и XIU 4 м
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.