• print this site
Вакуумные высокоточные датчики (вакуумметры) SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Торр мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические параметры характеристики информация для заказа

Вакуумные высокоточные датчики SKY CDG025D от Inficon (Инфикон)


Линейка высокоточных емкостных (диафрагменных) датчиков INFICON SKY CDG025D с температурной компенсацией разработана для стабильной работы в суровых производственных условиях. Передовая цифровая электроника улучшает характеристики измерительного прибора и предлагает простые функции управления, такие как функция обнуления одной кнопкой и настройка уставок. Устойчивый к коррозии керамический датчик обеспечивает превосходную стабильность около нуля с длительным сроком службы в несколько миллионов циклов, включая прорыв атмосферы. Уникальная защита датчика (заявлена на патент) предохраняет датчик от технологического загрязнения. Прочная механическая конструкция и цифровая электроника обеспечивают совместимость с требованиями EMC, долговременную стабильность и температурную компенсацию. CDG025D устанавливает новые стандарты для быстрой стабильности после включения и быстрого восстановления после воздействия атмосферного давления.


Тип фланца Полная шкала INFICON кат. номер Oerlikon Leybold
кат. номер
 [Torr] CDG025D CTR 100
DN 16 ISO-KF 1000 375-001 230 300
100 376-001 230 301
20 383-001 230 340Vv01
10 377-001 230 302
1 378-001 230 303
0.1 379-001 230 304V01
DN16 CF-R 1000 375-002 230 305
100 376-002 230 306
10 377-002 230 307
1 378-002 230 308
0.1 379-002 230 309 V01
Cajon 8 VCR 1000 375-003 230 310
100 376-003 230 311
10 377-003 230 312
1 378-003 230 313
0.1 379-003 230 314 V01
1/2" tube 1000 375-000 230 315
100 376-000 230 316
10 377-000 230 317
1 378-000 230 318
0.1 379-000 230 319 V01

Преимущества

  • Полная диапазон от 100 мТорр до 1000 Торр
  • Быстрая стабильность после включения
  • Быстрое восстановление после прорыва атмосферы
  • Сопротивление коррозии - керамический датчик
  • Превосходная долговременная стабильность сигнала
  • Температурная компенсация
  • Защита датчика от загрязнения
  • Установка нуля нажатием одной кнопки
  • Широкий диапазон источников питания

Области применения

  • Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
  • Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
  • Промышленное вакуумное оборудовани
  • Общее высокоточное измерение давления
  • CDG025D dimensions

Спецификации

Тип 1000 Торр / 1100 мбар 500 ... 10 Торр / мбар 1 Торр / мбар 0.25 Торр 0.1 Торр / мбар
Точность (1) % от показания 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Температурный эффект          
на нуле процент FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
в диапазоне % от показания / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
Разрешение процент FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Давление, макс. кПа (абсолютное) 400 260 260 130 130
Время отклика (2) мс 30 30 30 130 130
Нижняя граница чтения процент FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
Нижняя рекомендуемая граница считывания percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
Нижнее рекомендуемое контрольное давление процент FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Температура          
При работе (внешняя) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
Прогрев на фланце (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
При хранении °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
Потребляемое напряжение В (DC) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
Потребляемая мощность Вт ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Выходной сигнал (аналоговый) В (DC) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Степень защиты IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Стандарты          
CE соответствие EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL сертификация UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
Электрическое подключение D-sub, 15 pole, папа D-sub, 15 pole, папа D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, папа
Уставки (4)          
Количество уставок 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Релейные контакты В (DC) 30 30 30 30 30
Гистерезис процент FS 1 1 1 1 1
Материалы взаимодействующие с вакуумом Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), Vacon 70 (5), нержавеющая сталь (AISI 316L (6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), Vacon 70 (5), нержавеющая сталь (AISI 316L (6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), Vacon 70 (5), нержавеющая сталь (AISI 316L (6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), Vacon 70 (5), нержавеющая сталь (AISI 316L (6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой Оксид алюминия (керамика) (AI2O3),Vacon 70 (5), нержавеющая сталь (AISI 316L (6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой
Внутренний объем          
1/2'' трубка см³ (дюйм.³)        
DN 16 ISO KF см³ (дюйм.³)        
DN 16 CF-R см³ (дюйм.³)        
8 VCR® см³ (дюйм.³)        
Вес          
1/2'' трубка г        
DN 16 ISO KF г        
DN 16 CF-R г        
8 VCR® г        

(1) Не линейна, гистерезис, повторяемость при температуре окружающей среды 25 ° C без влияния температуры после 2 часов работы.

(2) Увеличение 10 … 90 процентов FS

(3) Без работы

(4) только CDG025D-S

(5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe

(6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

Вакуумные высокоточные датчики (вакуумметры) SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Торр мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические параметры характеристики информация для заказа

Спецификации

Брошюры

Руководства

Файлы 3D Step

  • to top
Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.