Вакуумные высокоточные датчики SKY CDG045D от Inficon (Инфикон)


Манометры INFICON SKY CDG045D - ваш лучший выбор для высокоточного измерения и контроля общего давления. Датчики CDG045D контролируются при температуре 45 °C для обеспечения превосходной стабильности и повторяемости сигнала. Они доступны для диапазонов полной шкалы от 50 мТорр до 1000 Торр, со всеми распространенными типами фланцев и интерфейсом fieldbus, а также обеспечивают линейный сигнал давления от 0 до 10 В, независимый от типа газа. В емкостных манометрах INFICON используется мембрана из сверхчистой керамики, стойкой к коррозии. Преимущества керамического датчика - лучшая стабильность сигнала, более быстрое восстановление из атмосферы, короткое время прогрева и исключительный срок службы. INFICON CDG - это высококачественные, экономичные датчики давления для работы в условиях вакуума.


Тип фланца Полная шкала INFICON кат. номер Oerlikon Leybold
кат. номер
[Torr] CDG045D CTR 101
DN 16 ISO-KF 1000 3CC1-F51-2300 230 320
100 3CC1-C51-2300 230 321
10 3CC1-951-2300 230 322
1 3CC1-651-2300 230 323
0.1 3CC1-351-2300 230 324
DN16 CF-R 1000 3CC1-F53-2300 230 325
100 3CC1-C53-2300 230 326
10 3CC1-953-2300 230 327
1 3CC1-653-2300 230 328
0.1 3CC1-353-2300 230 329
Cajon 8 VCR 1000 3CC1-F5E-2300 230 330
100 3CC1-C5E-2300 230 331
10 3CC1-95E-2300 230 332
1 3CC1-65E-2300 230 333
0.1 3CC1-35E-2300 230 334
1/2" tube 1000 3CC1-F59-2300 230 335
100 3CC1-C59-2300 230 336
10 3CC1-959-2300 230 337
1 3CC1-659-2300 230 338
0.1 3CC1-359-2300 230 339

Преимущества

  • Более низкая стоимость владения, ускорение прогрева на 50%, энергоэффективное низкое энергопотребление
  • Простая интеграция, широкий выбор полных шкал, фланцев и интерфейсов, стандарт с двумя уставками
  • Легко обнулить: нажатием одной кнопки или удаленным сигналом, регулировка смещения нуля
  • Диагностический порт для эксплуатации и быстрого обслуживания
  • Двухлетняя гарантия, более длительный срок службы с передовой концепцией нагрева и защитой датчика
  • Нет необходимости в длительной повторной калибровке благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже в жестких условиях применения (в плазме)
  • Соответствие стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Области применения

  • Etch, CVD, PVD и другие процессы производства полупроводников
  • Химические и коррозионные вакуумные процессы
  • Общие тонкопленочные и вакуумные процессы
  • Эталонный датчик для контроля измерительных приборов в соответствии с международными стандартами
  • Передача стандартов для измерения прослеживаемости

Новости

Уже сейчас доступен с цифровым интерфейсом EtherCAT!

  • Вакуумные высокоточные датчики (вакуумметры)  SKY® CDG045D 0.05 ... 1000 Торр / мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические характеристики параметры информация для заказа

Спецификация

Тип 1000 Торр, 1100 мбар 500 ... 1 Торр / мбар 0.5 ... 0.05 Торр / мбар
Точность (1) % от показания 0.15 0.15 0.15
Температурный эффект      
на нуле процент FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
в диапазоне % от показания / °C 0.01 0.01 0.01
Давление, макс. кПа (абсолютное) 400 260 130
Разрешение процент FS 0.003 0.003 0.003
Нижняя граница считывания процент FS 0.01 0.01 0.01
Нижняя рекомендуемая граница считывания процент FS 0.05 0.05 0.05
Нижнее рекомендуемое контрольное давление процент FS 0.5 0.5 0.5
Температура      
При работе (внешняя) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
Прогрев на фланце °C ≤110 ≤110 ≤110
При хранении °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Потребляемое напряжение +14 … +30 VDC или ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC или ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC или ±15 V (±5%)
Потребляемая мощность      
Во время нагрева Вт ≤12 ≤12 ≤12
При рабочей температуре Вт ≤8 ≤8 ≤8
Выходной сигнал (аналоговый) В (DC) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Время отклика (2) мс 30 30 130 / 30 (3)
Степень защиты IP 40 IP 40 IP 40
Стандарты      
CE соответствие EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL сертификация UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI соотвтствие SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Электрическое подключение D-sub, 15 pole, папа D-sub, 15 pole, папа D-sub, 15 pole, папа
Уставки      
Количество уставок 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Релейные контакты В (DC) ≤30 ≤30 ≤30
Гистерезис процент FS 1 1 1
Диагностический порт      
Протокол RS232-C RS232-C RS232-C
Считывание давление, статус, ID давление, статус, ID давление, статус, ID
Настройка уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока
Материалы, взаимодействующие с вакуумом Керамика, оксид алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4)) Керамика, оксид алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4)) Керамика, оксид алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4))
Внутренний объем      
Вн. объем 1/2'' трубка см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем DN 16 ISO KF см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем DN 16 CF-R см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем 8 VCR® см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вес      
Вес 1/2'' трубка г 837 837 837
Вес DN 16 ISO KF г 852 852 852
Вес DN 16 CF-R г 875 875 875
Вес 8 VCR® г 897 897 897
EtherCAT      
Протокол EtherCAT Спциальный протокол для EtherCAT Спциальный протокол для EtherCAT Спциальный протокол для EtherCAT
Стандарты коммуникации ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик
Адрес узла Явная идентификация устройства Явная идентификация устройства Явная идентификация устройства
Физический слой 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Цифровые функции считывания давление, статус, ID давление, статус, ID давление, статус, ID
Набор цифровых функций уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
Данные обработки Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO
Почтовый ящик (CoE) Запросы SDO, ответы и информация Запросы SDO, ответы и информация Запросы SDO, ответы и информация
EtherCAT разъем RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT
Кабель экранированный Ethernet CAT5e или выше экранированный Ethernet CAT5e или выше экранированный Ethernet CAT5e или выше
Длина кабеля м (фут.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™      
Протокол DeviceNet™, только группа 2 slave DeviceNet™, только группа 2 slave DeviceNet™, только группа 2 slave
Скорость передачи данных kBaud 125, 250, 500 через switch (свич) или программируется через сеть 125, 250, 500 через switch (свич) или программируется через сеть 125, 250, 500 через switch (свич) или программируется через сеть
Длина кабеля 125 kbps м фут.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Длина кабеля 250 kbps м (фут.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Длина кабеля 500 kbps м (фут.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID адреса 00 - 63 через switch (свич) или программируется через сеть адреса 00 - 63 через switch (свич) или программируется через сеть адреса 00 - 63 через switch (свич) или программируется через сеть
Цифровые функции считывания давление, статус, ID давление, статус, ID давление, статус, ID
Набор цифровых функций уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
Спецификация DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
Тип устройства ''VG'' вакуумный датчик ''VG'' вакуумный датчик ''VG'' вакуумный датчик
I / O slave messaging только опрос только опрос только опрос
Потребляемое напряжение для датчика с D-sub разъемом +14 … +30 VDC или ±15 V ≤12Вт +14 … +30 VDC или ±15 V / ≤12 Вт +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 Вт
Напряжение питания для трансиверов DeviceNet на разъеме microstyle 24 В ном / <2 Вт (11 … 25 В) 24 В ном / <2 Вт (11 … 25 В) 24 V ном / <2 Вт (11 … 25 В)
Разъем для DeviceNet™ microstyle, 5 pin, папа microstyle, 5 pin, папа microstyle, 5 pin, папа
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания CDG, уставки) D-sub, 15 pin, папа D-sub, 15 pin, папа D-sub, 15 pin, папа
Profibus DP      
Скорость обмена kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Адрес адрес 00 - 125 через switch (свич) или программирование через сеть address 00 - 125 через switch (свич) или программирование через сеть address 00 - 125 через switch (свич) или программирование через сеть
Цифровые функции считывания давление, статус, ID давление, статус, ID давление, статус, ID
Набор цифровых функций уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
Разъем для Profibus DP D-sub, 9 pin, мама D-sub, 9 pin, мама D-sub, 9 pin, мама
Разъем для CDG (аналоговый выход, напряжение питания, уставки) D-sub, 15 pin, папа D-sub, 15 pin, папа D-sub, 15 pin, папа

(1) Не линейна, гистерезис, повторяемость при температуре окружающей среды 25 ° C без влияния температуры после 2 часов работы.

(2) Увеличение 10 … 90 процентов FS  

(3) Только для контроля давления

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

Вакуумные высокоточные датчики (вакуумметры)  SKY® CDG045D 0.05 ... 1000 Торр / мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические характеристики параметры информация для заказа
Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.