Вакуумные датчики (Вакуумметры) Gemini™ MxG5xx от атмосферы до сверхвысокого вакуума

Инвертированный магнетронный вакуумметр INFICON Gemini ™ является рабочей лошадкой для всех применений измерения вакуума. В то время как Gemini MPG50x объединяет две сенсорные системы в одном небольшом устройстве для измерения от атмосферы до 1x10^-9 мбар, Gemini MAG50x представляет собой систему датчиков с чистым холодным катодом (без элемента Pirani), которая охватывает диапазон от 1x10^-2 мбар до 1x10^-9 мбар. Запатентованная конструкция сверхнизкого магнитного поля рассеяния открывает целый ряд новых областей применения. Уникальный сменный двухкамерный сенсорный блок позволяет избежать циклов очистки и сокращает объем технического обслуживания, что делает Gemini самым надежным и экономичным вакуумметром в своем роде.Холодный катод Gemini и его комбинация поставляются с полностью интегрированной цифровой электроникой, обеспечивая максимальную гибкость для системной интеграции. Вариант с комбинированной версией (MPG) с холодным катодом и Пирани обеспечивает плавный переход, надежность, практичность и гибкость в широком диапазоне применений. MAG и MPG Gemini теперь доступны с полевой шиной EtherCAT и уставками MAG55x и MPG55x. Для коррозионных применений мы предлагаем использовать версию с керамическим покрытием MxG5x4. Проходной датчик и Pirani внутри сенсорной головки имеют керамическое покрытие для повышенной коррозионной стойкости. Холодный катод Gemini ™ и комбинации датчиков поставляются с полностью интегрированной цифровой электроникой, обеспечивая максимальную гибкость для системной интеграции. Комбинированный датчик с холодным катодом и датчик Pirani обеспечивают плавный переход, надежность и гибкость в широком диапазоне применений.

• Обзор
• Характеристики
• Номер по каталогу
• Аксессуары
• Запасные части
• Загрузки

Преимущества

• Долгий срок службы в суровых условиях

• Низкое рассеивание магнитного поля

• Надежное быстрое зажигание

• Быстрое обслуживание - сменный вкладыш
• Компактный размер - легко встраеваемый
• Коррозионностойкие элемент ввода и чувствительный элемент
• Выбор тока измерения
• 2 реле уставки (в сочетании с версией EtherCAT MxG55x)
• EtherCAT и RS232/ RS485 цифровой интерфейс

Области применения

• Мониторинг и контроль общего давления от атмосферы до высокого вакуума в процессах испарения и напыления.
• Измерение общего вакуума - промышленные печи, архитектурное стекло, полупроводники, холодильные / климатические и производственные лаборатории.
• Аналитические и R&D применения - масс-спектрометрия, электронные микроскопы, офтальмология, оптика, медицина и физика высоких энергий.

Новости

NEW! Gemini с цифровым интерфейсом EtherCAT уже готов к заказу!

• 

Спецификации

Тип		MAG5xx	MPG5xx
Система измерения		Система измерения ионизации с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона).	Система измерения ионизации по Пирани и холодному катоду (по принципу инвертированного магнетрона).
Измеряемый диапазон (воздух, N2)	мбар	1х10-9 … 1х10-2	1х10-9 … 1000
Точность (N2)
1х10-8 … 1х10-2 мбар	% от показания	30	-
1х10-2 … 100 мбар	% от показания	-	30
100 … 1000 мбар	% от показания	-	50
Повторяемость (N2)
1х10-8 … 1х10-2 мбар	% от показания	5	-
1х10-8 … 100 мбар	% от показания	-	5
Монтажная ориентация		любая	любая
Допустимое давление	бар (абсолютная)	10 (ограничивается инертными газами <55°C)	10 (ограничивается инертными газами <55°C)
Допустимая температура
При работе (внешняя)	°C	+5 ... +55	+5 ... +55
Прогрев на фланце (1)	°C	<150	<150
При хранении	°C	-40 ... +70	-40 ... +70
Температура нити накала	°C	-	120
Относительная влажность за 30 дней в году
1х10-7 … 1х10-2 мбар	%	<95 (Без конденсации)	<95 (Без конденсации)
1х10-8 … 1х10-2 мбар	%	<70 (Без конденсации)	<70 (Без конденсации)
Потребляемое напряжение
На датчике (2)	В (DC)	+14.5 ... +30	+14.5 ... +30
Пульсация	В (p-p)	<1	<1
Потребляемая мощность	Вт	<2	<2
Предохранитель для подключения	AT	<1	<1
Диапазон напряжения
Аналоговый выход	В	0 ... +10.5	0 ... +10.5
Диапазон измерения
3MAx-xxx-xxxN	В	<+0.5
3MBx-xxx-xxxP	В	-
3MAx-xxx-xxxQ	В	+0.667 ... +10
Зависимость напряжение - давление
3MAx-xxx-xxxN	В на декаду	1 (логорифмическая)
3MBx-xxx-xxxP	В на декаду	-
3MAx-xxx-xxxQ	В на декаду	1.33 (логарифмическая)
Ошибка сигнала
3MAx-xxx-xxxN	В	<+0.5
3MA-xxx-xxxQ	В	<+0.3
3MBx-xxx-xxxP	В	-
Выходное сопротивление	Ом	2 x 4.7 (защита от короткого замыкания)
Сопротивление нагрузки	кОм	>10 (защита от короткого замыкания)
Время реакции шага (зависит от давления)
p > 1 x 10-6 мбар	мс	<100	<100
p = 1x10-6...1x10-8 мбар	с	~1
Определение датчика (Соеденительный датчик FCC)
3MAx-0xx-000N	кОм	-
3MAx-0xx-000Q	кОм	100
3MBx-0xx-000P	кОм	-
Статус сигнала, цифровой выход (FCC разъем)
Токовый номинал	мА	100 (сток)
Высокое напряжение вкл.	В (DC)	+14.5 ... +30 (в зависимости от напряжения питания)
Высокое напряжение выкл.	В (DC)	0
Статус сигнала, цифровой выход (D-sub разъем)
Потребляемое напряжение	В (DC)	<30
Токовый номинал	мА	100
Высокое напряжение вкл.	В (DC)	0
Высокое напряжение выкл.		open
Электрическое соединение
3Mxx-0xx-000x		FCC68, 8-pin, мама
3Mxx-0xx-010x		D-sub, 9-pin, папа
3Mxx-0xx-04xx		D-Sub HD, 15-pin, папа (для RS232/485 версии)
3Mxx-xxx-x2Gx		D-Sub HD, 15-pin, папа (для EtherCAT версии)
Кабель датчика
3Mxx-0xx-000x		8-pin, экранированный
3Mxx-0xx-010x		9-pin, экранированный
3Mxx-0xx-04xx		D-Sub HD, 15-pin, папа (для RS232/485 версии)
3Mxx-xxx-x2Gx		D-Sub HD, 15-pin, папа (для EtherCAT версиии)
Длина кабеля
FCC соединительный кабель	м	<50 (0.14 мм2/ проводник)
Высокое напряжение (в измеряемой камере)
Напряжение зажигания	кВ	<4.5
Рабочее напряжение	кВ	<3.3	<3.3
Ток (в измеряемой камере)
Большой ток	мкА	<380
Малый токLow current	мкА	<130
Реел уставки (MxG55x)
Диапазон (N2)	мбар бар	5x10-5 ... 1500
Релейные контакты		нормально открытый (НО), свободный потенциал
Гистерезис	% от предела	10
Диапазон состояния контактов механических реле	В/А	<30/ <1
Время переключения	мс	<30
Материалы, взаимодействующие с вакуумом
3Mx0-xxx-xxxx		Ni сплавы, Mo, AI2O3, стекло, нержавеющая сталь
3Mx3-xxx-xxxx		Mo, AI2O3, нержавеющая сталь
3Mx0-11x-xxxx		Ni сплавы, Mo, Al2O3, стекло, Ti, нержавеющая сталь
3Mx3-11x-xxxx		Mo, Al2O3, Ti, нержавеющая сталь
Внутренний объем
DN 25 ISO-KF	см³
DN 40 ISO-KF	см³	~20.9
DN 40 CF-F	см³	~25.2
DN 40 CF-R	см³	~25.6
Внутренний объем	см³	22.8	22.8
Вес (MxG50x)
DN 25 ISO-KF	г	<280	<280
DN 40 ISO-KF	г		<320
DN 40 CF-F & CF-R	г	<570	<570
Вес (MxG55x)
DN 25 ISO-KF	г	<280	<280
DN 40 ISO-KF	г		<320
DN 40 CF-F & CF-R	г	<570	<570
Степень защиты		IP 40	IP 40
CE стандарты
RoHS		2011/65/EU
EMC		2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1
Безопасность		EN 61010-1
RS232C / 485C (MxG50x)
Скорость обмена	kBaud	9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6
Адрес		2 свича (switches) (адрес 00 - 255)
Цифровые функции		Считывание давления. Выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчет. Контроль состояния датчика, подробная информация о сигналах тревоги и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки.
Разъем для RS232 & RS485		D-Sub HD, 15-pin, папа
EtherCAT® (MxG55x)
Протокол		EtherCAT®
Стандарты связи		ETG.5003.1   S (R) V1.1.0 4) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)
Адрес узла		Явная идентификация устройства
Физический уровень		100Base-Tx (IEEE 802.3)
Цифровые функциии		Считывание давления. Выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчет. Контроль состояния датчика, подробная информация о сигналах тревоги и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки.
EtherCAT разъем		2 x RJ45, 8-pin (разъем), вход & выход
EtherCAT кабель		Специальный соединительный кабель Ethernet или перекрестный кабель, экранированный (Стандарт CAT5e или выше)
Длина кабеля	м (фут)	<100 (330)

1) Без электроники.

2) Минимальное напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика.

3) Холодный катод зажжен.

4)Профиль полупроводникового устройства.

5) Профиль конкретного устройства: вакуумный манометр.

Аксессуары

MAG5xx
Номер по каталогу	Описание
211-098	Центрирующее кольцо с фильтром тонкой очистки DN 25 KF
351-550	MxG50x Комплект инструментов зажигания
211-113	Центрирующее кольцо с сеткой DN 25 KF
353-512	Сетка для BPG400
MPG5xx
Номер по каталогу	Описание
211-098	Центрирующее кольцо с фильтром тонкой очистки DN 25 KF
351-550	MxG50x Комплект инструментов зажигания
211-113	Центрирующее кольцо с сеткой DN 25 KF
353-512	Сетка для BPG400

Запасные части

MAG5xx
Номер по каталогу	Описание
351-500	MAG500 запасной датчик, 25KF, SS
351-556	Запасная ионная камера ti
351-512	MAG500 запасной датчик, 40KF, SS
351-536	MAG500 запасной датчик, 40CF-R, SS
351-524	MAG500 запасной датчик, 40CF-F, SS
351-502	MAG500 запасной датчик, 25KF, TI
351-514	MAG500 запасной датчик, 40KF, TI
351-538	MAG500 запасной датчик, 40CF-R, TI
351-526	MAG500 запасной датчик, 40CF-F, TI
351-501	MAG504 запасной датчик, 25KF, SS
351-513	MAG504 запасной датчик, 40KF, SS
351-537	MAG504 запасной датчик, 40CF-R, SS
351-525	MAG504 запасной датчик, 40CF-F, SS
351-503	MAG504 запасной датчик, 25KF, TI
351-515	MAG504 запасной датчик, 40KF, TI
351-539	MAG504 запасной датчик, 40CF-R, TI
351-527	MAG504 запасной датчик, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Запасные части поджига (10)
351-555	Запасная ионная камера ss
MPG5xx
Номер по каталогу	Описание
351-506	MPG500 запасной датчик, 25KF, SS
351-518	MPG500 запасной датчик, 40KF, SS
351-542	MPG500 запасной датчик, 40CF-R, SS
351-530	MPG500 запасной датчик, 40CF-F, SS
351-508	MPG500 запасной датчик, 25KF, TI
351-520	MPG500 запасной датчик, 40KF, TI
351-544	MPG500 запасной датчик, 40CF-R, TI
351-532	MPG500 запасной датчик, 40CF-F, TI
351-507	MPG504 запасной датчик, 25KF, SS
351-519	MPG504 запасной датчик, 40KF, SS
351-543	MPG504 запасной датчик, 40CF-R, SS
351-531	MPG504 запасной датчик, 40CF-F, SS
351-509	MPG504 запасной датчик, 25KF, TI
351-521	MPG504 запасной датчик, 40KF, TI
351-545	MPG504 запасной датчик, 40CF-R, TI
351-533	MPG504 запасной датчик, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Запасные части поджига (10)
351-555	Запасная ионная камера ss
351-556	Запасная ионная камера ti

Спецификация

• MxG50x EN |EN| |DE| |ES| |??| |??| |??|

Брошюры

• tibb10e1_MAG50x_MPG50x Cold Cathode gauge.pdf |EN|

Руководства

• TINA83E1 Operating manual Cold Cathode Gemini.pdf |EN| |DE|
• TIRB38E1_Mx55x_Communication protocol EtherCAT_New Generation.pdf |EN|
• TIRA83E1_Mx5xx_Communication protocol RS232_RS485.pdf |EN|

Файлы 3D Step

• MAG500_FCC_25KF |EN|
• MAG500_FCC_40CF |EN|
• MAG500_FCC_40KF |EN|
• MPG500_FCC_25KF |EN|
• MPG500_FCC_40CF |EN|
• MPG500_FCC_40KF |EN|
• MMAG50x_9DSub_25KF.stp |EN|
• MMAG50x_9DSub_40CF-F.stp |EN|
• MMAG50x_9DSub_40KF.stp |EN|
• MMPG50x_9DSub_40CF-F.stp |EN|
• MPG50x_9DSub_40KF |EN|
• MPG50x_9DSub_25KF |EN|

Видео

• MPG50x Sensor Replacement
• MPG50x maintenance