Контроллер Guardian™ EIES

Одновременное нанесение до восьми материалов

Идеально подходит для тонких пленок CIGS

Guardian может контролировать скорость осаждения от 0,1 до 10 000 Å/с. Он управляет одним или двумя датчиками, имеет до 8 оптических входов и контролирует до 8 источников осаждения, что позволяет совмещать до 8 материалов.

INFICON Guardian идеально подходит для таких применений, как изготовление фотоэлектрических модулей, OLED, фотоэлектрических элементов, сверхпроводящих тонких пленок и MBE.

Система совместного осаждения Guardian основана на спектроскопии эмиссии электронного удара (EIES). При использовании EIES осаждаемый материал возбуждается термоэлектронным эмиттером, что приводит к выделению фотонов. Создаваемый свет проходит через оптический фильтр к детектору с фотоумножителем (ФЭУ), который измеряет интенсивность излучения на прошедшей длине волны. Затем INFICON Guardian Controller генерирует сигнал для управления источником этого материала. Дополнительные детекторы с соответствующими оптическими фильтрами используются для нескольких материалов.

Полноценная система Guardian состоит как минимум из одного датчика, одного детектора ФЭУ, оптического фильтра, блока контроллера Guardian и ПК (предоставляется пользователем) с программным обеспечением Guardian. EIES обычно используется для управления осаждением нескольких материалов, поэтому большинство систем EIES включают дополнительные датчики, детекторы, оптические компоненты, такие как светоделители, и QCM для калибровки или контроля скорости осаждения некоторых материалов. Более подробную информацию о системах можно найти в Руководстве по настройке Guardian во вкладке "Загрузки" ниже.

Чтобы настроить систему одновременного осаждения Guardian, примите во внимание следующее:
Какая длина волн первичного и вторичного излучения ваших материалов осаждения?

Если у разных материалов пики слишком близки друг к другу, вам может потребоваться следить за длиной волны вторичной эмиссии, которая имеет более низкий уровень сигнала.

Какие фоновые газы присутствуют в вашей вакуумной камере в процессе осаждения и какие длины волн излучения этих газов?

Если эмиссия фоновых газов влияет на осаждаемые материалы, рекомендуется использовать газокомпенсирующий датчик.

EIES наиболее эффективен с однозначно определенными спектрами атомных частиц. Молекулярные частицы, которые генерируют нестабильные или широкие спектры излучения, не могут быть точно измерены. EIES не рекомендуется для органических материалов. Эти и другие факторы определяют оптимальную конфигурацию системы EIES для каждого конкретного применения..