IMM-100 Монитор осаждения тонких пленок

ПРЕВОСХОДНАЯ ПОВТОРЯЕМОСТЬ

Защитите и увеличьте свою прибыль с помощью точного мониторинга скорости и толщины

IMM-100 - это монитор осаждения, созданный с использованием технологии ModeLock, которая обеспечивает максимальную воспроизводимость и однородность с высочайшей точностью толщины, лучшим разрешением измерения и низким уровнем шума.

Благодаря встроенному осциллятору IMM-100 может быть легко интегрирован в систему EtherCAT с минимальными затратами на оборудование и площадь. Этот мощный и точный измерительный монитор обязательно выведет ваш производственный процесс на новый уровень.

Функции


  • Технология INFICON ModeLock обеспечивает самый длительный срок службы кристалла и обеспечивает наиболее стабильную, самую высокую разрешающую способность, а также измерение толщины даже при очень низких скоростях
  • Максимальная выгода за счет наилучшего возможного измерения толщины QCM
  • Одноканальный монитор скорости и толщины покрытия. Без дополнительных функций для минимизации затрат.
  • ± 0,0035 Гц за 100 мс выборки
  • Обмен данными через EtherCAT для бесшовной интеграции
  • Компактный размер для минимизации затрат на интеграцию за счет экономии пространства
  • Экспертная поддержка, возможность обсудить уникальные потребности применений и оказать большую поддержку, чем у конкурентов
  • Соответствие RoHS

  • Области применения

  • OLED применения
  • Характеристики

    Тип IMM-100
    Измерение  
    Входы для датчиков 1
    Диапазон частот измерения 6.0 до 4.5 Мгц (фиксированно)
    Относительная частотная стабильность ±2 ppm 0-60°C
    Разрешение по частоте ±0.0035 Гц @ 6 МГц
    Разрешение по скорости и толщине 0.0042 Å (новый кристалл); 0.0076 Å (кристалл @ 4.5 МГц) выборка более 100 мс для плотности материала = 1.0, Z-соотношение = 1.0
    Интервал измерения 100 мс
    Метод измерения ModeLock
    Работа и размеры  
    Входное напряжение 24 В (dc)
    Рабочая Температура 0 до 50°C (32 до 122°F)
    Размеры 222.6 мм (8.76 дюйм.) x 106.1 мм (4.18 дюйм.) x 35.3 мм (1.39 дюйм.)
    Масса 0.48 кг (1.05 фунт.)
    Тип связи EtherCAT, 2 разъема RJ45, поддерживает шлейфовый обмен данными. Явный идентификатор устройства через коммутатор

    Каталожный номер

    IMM-100
    Каталожный номер Описание
    785-200-G1 IMM-100 Блок
    785-600-G1 IMM-100 Монитор осаждения тонких пленок

    Аксессуары

    Каталожный номер Описание
    Дополнительные блоки питания Перечисленные ниже источники питания рассчитаны на входное напряжение от 100 до 249 В (ac), 2 А, от 50 до 60 Гц и выходное напряжение 24 В (dc), 3,34 А, 80 Вт макс.
    961-021-G1 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)
    961-021-G2 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м)
    961-021-G3 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка для США на 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м)
    961-021-G4 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)
    961-021-G5 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 15 футов (4,5 м)
    961-021-G6 Комплект источника питания 80 - 250 В (AC) / вилка 230 В 4 фута (1,2 м)/ c удлиненным кабелем 30 футов (9 м)
    961-021-G7 Комплект блока питания IL 240 В
    961-021-G8 Комплект источника питания IL 4.5 м (удлиненный)
    961-021-G9 Комплект источника питания IL 9.0 м (удлиненный)
    961-021-G10 Комплект блока питания UK 240 В
    961-021-G11 Комплект блока питания UK 4.5 м (удлиненный)
    961-021-G12 Комплект блока питания UK 9.0 м (удлиненный)
    Опциональные монтажные кронштейны
    785-202-G1 Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими ножками, мама-мама, из нержавеющей стали для чистых помещений
    785-201-G1 Монтажный кронштейн с четырьмя амортизирующими элементами, папа-мама, черные монтажные ножки из неопрена
    Опциональные кабель связи
    600-1190-P1 Кабель Ethernet 1 м
    600-1190-P2 Кабель Ethernet 3 м
    600-1190-P4 Кабель Ethernet 4.3 м
    600-1190-P8 Кабель Ethernet 7 м
    600-1190-P15 Кабель Ethernet 15 м

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.