Одиночный сенсор Easy Rate


ДЕЙСТВУЕТ СПЕЦИАЛЬНОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ


Одиночные сенсоры Easy Rate разработаны и изготовлены в качестве экономного решения для высокоточного контроля толщины нанесения покрытий. Подходят для циклических и коротких оптических процессов.

Этот датчик сводит к минимуму производственные затраты при минимальных начальных инвестициях и общей стоимости владения. Он был разработан для обеспечения максимальной доступности благодаря долговечному сенсору, который требует меньшего обслуживания.


Одиночные датчики Easy Rate доступны в стандартной и повернутой на 90° ориентациях. В конфигурацию может быть включен вакуумный ввод с трубными фитингами или без них.


Примечание: В сенсорах Easy Rate используются трубки водяного охлаждения с внешним диаметром (OD) 4,8 мм (3/16 дюйма). Они несовместимы с вакуумным вводом для датчиков с фронтальной нагрузкой, оборудованными соединением типа Ultra-Torr. Для их приварки к стандартному вакуумному вводу с трубками водяного охлаждения 4,8 мм (3/16 дюйма) требуется адаптер.

Функции


  • Минимальные вложения при минимальной первоначальной стоимости
  • Самая низкая совокупная стоимость владения благодаря увеличенному сроку службы сенсора
  • Максимальная производительность при меньшем количестве обслуживания
  • Простая установка
  • Доступнен в стандартном и развернутом положениях
  • Доступна опциональная заслонка
  • Комбинации сенсор / вакуумный ввод доступна с трубными фитингами или без них
  • Характеристики

    Тип Одиночный сенсор Easy Rate
    Максимальная температура прокаливания (без воды) 175°C
    Максимальная рабочая изотермическая температура окружающей среды при минимальном расходе воды 400° C
    BS-A _ _ E 1 _ _ Размер (максимальные габариты без заслонки) 3.2 5 x 4.04 x 1.53 см (1.28 x 1.59 x 0.60 дюйм.)
    BS-B _ _ E 1 _ _ Размер (максимальные габариты без заслонки) 3.2 5 x 3.30 x 1.60 см (1.28 x 1.30 x 0.63 дюйм.)
    Водяные трубки S-304, 4.76 мм (0.188 дюйм) OD x 0.51 мм (0.020 дюйм.) толщина стенки бесшовной трубки из нержавеющей стали
    Замена кристаллов Замена спереди; упаковка для простоты замены
    Монтаж 1.015 дюйм. ±0.010 дюйм. диаметр апертуры
    Требования к установке  
    Вакуумный ввод 2 ввода для воды с наружным диаметром 4,76 мм (0,188 дюйма) с 1 (microdot) коаксиальным соединением
    Прочее XIU или осциллятор для соответствия конкретному контроллеру, блок электромагнитного клапана 750-420-G1 для датчиков с заслонкой
    Расход воды Минимальный поток воды 150-200 см3/мин, 30 °C макс.
    Качество воды Охлаждающая жидкость не должна содержать хлоридов, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание под напряжением. Очень грязная вода может привести к потере охлаждающей способности.
    Материалы  
    Корпус и держатель Нержавеющая сталь 304
    Пружины, электрические контакты Au покрытый Be-Cu
    Трубки охлаждения 4.76 мм (0.188 дюйм) OD бесшовная нержавеющая сталь
    Разъем (Microdot) Нержавеющая сталь, Тефлон® и стекло
    Изоляторы >99% Al2O3
    Кабели Луженая медь
    Кристалл 0.550 дюйм. (13.97 мм) Диаметр
    Характеристики ввода (болтовое - 1 дюйм)  
    Материалы Нержавеющая сталь 304, Тефлон®, керамика, бериллий никель, ВИТОН®
    Температура Условия эксплуатации: до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Четыре отверстия с резьбой # 4-40 на задней стороне корпуса датчика.
    Характеристики ввода-CF40 (2-3/4 дюйма ConFlat)  
    Материалы 304 нержавеющая сталь, Тефлон, керамика, бериллий никель
    Температура Условия эксплуатации: до 450 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без
    Монтаж Сопрягается с фланцами типа ConFlat, размером 2¾ дюйма с минимальным внутренним диаметром 1,375 дюйма.
    Easy Rate Single Sensor Configurator

    Аксессуары

    Наименование Описание
    Вакуумный ввод датчиков Easy Rate Вакуумный ввод датчиков Easy Rate
    Одиночный сенсор Easy Rate
    Каталожный номер Описание
    750-420-G1 Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонкой и многокристальными датчиками)

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы

    Запасные части

    Одиночный датчик Easy Rate
    Каталожный номер Описание
    784-205-G1 Фиксатор кристалла в сборе
    784-204-G1 Держатель кристалла в сборе
    784-403-P1 Пружина кристалла для пальцев
    784-404-P1 Стопорное кольцо
    784-300-P1 Держатель кристалла
    784-405-P1 Пружина пальца держателя
    750-174-P2 Коаксиальный кабель (мама)
    080-011-P3 Крепеж 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
    080-013 #0-80 Разрезная шайба
    784-209-G1 Комплект заслонки, для одиночного сенсора (в разобранном виде)
    784-305-P1 Заслонка одиночного датчика Easy Rate
    784-206-G1 Привод сенсора Easy Rate
    784-306-P1 Зажим привода Easy Rate
    084-054 #4 шайба Гровера
    084-027 Торцевой винт
    783-500-023 Вакуумный кабель, 25.4 см (10 дюйм.)
    783-500-024 Вакуумный кабель, 76.2 см (30 дюйм.)
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.