Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума


Прогреваемые датчики сверхвысокого вакуума INFICON обеспечивают подтвержденную надежность и долговечность, а также лучшую термическую стабильность среди всех сенсорных головок на рынке. Изготовленный из нержавеющей стали 304, молибдена, инконеля, никеля и оксида алюминия, прогреваемый сверхвысоковакуумный датчик выдерживает температуру непрерывного отжига до 450 °C (только для отжига, поток воды необходим для фактического контроля осаждения). Конструкция с фронтальной загрузкой позволяет легко менять кристалл в применениях, в которых недостаточно места для боковой вставки.

Функции


  • Высокотемпературная пайка; сварная конструкция
  • Температура отжига до 450 °C
  • Заслонка кристалла (опция)
  • Держатель кристалла с загрузкой спереди
  • Легкая установка
  • Вакуумный фланец CF40
  • Не требуется сварка или пайка вакуумного ввода
  • Длина привариваемого вакуумного ввода указывается заказчиком
  • Характеристики

    Тип Прогреваемый датчик с заслонкой Прогреваемый датчик без заслонки
    Максимальная температура 400 °C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды) 450 °C непрерывно (только для прогрева; для текущего контроля осаждений рекомендуется поток воды)
    Размер сенсорной головки (максимальные габариты) 1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 1.21 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 31 мм высота) 1.35 дюйм. x 1.38 дюйм. x 0.94 дюйм. высота (34 мм x 35 мм x 24 мм высота)
    Замена кристалла Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт. Затвор с пневматическим управлением сдвигается в сторону, обеспечивая легкую замену кристаллов. Загрузка спереди, упаковка для легкой замены. Кулачковая рукоятка с фиксатором позволяет легко вынимать кристалл, а также обеспечивает хороший тепловой контакт.
    Монтаж

    a) Стандартно - четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса.

    b) Опцилнально— угловой кронштейн; IPN 007-108

    Четыре резьбовых отверстия #4-40 на задней части корпуса.
    Вакуумный ввод

    2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора

    Водяные, воздушные и коаксиальные трубки - полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм])

    2¾ дюйма ConFlat®, встроенная в головку сенсора

    Водяные, воздушные и коаксиальные трубки - полужесткие, но гибкие (минимальный радиус изгиба 2,0 дюйма [50,8 мм])

    Средства обеспечения

    1) Минимальный расход воды 150-200 cм3/мин, 30 °C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.)

    2) Фильтрованный, безмасляный воздух с регулируемым давлением до 80 psig (5,5 бар) [552 кПа]

    3) Электромагнитный клапан, 750-420-G1, 24 В AC или DC, можно заменить эквивалентным клапаном

    Минимальный расход воды 150-200 cм3/мин, 30 °C макс. (Не допускайте замерзания.) (Заказчик должен предусмотреть быстросъемные соединения ?-дюймовых водяных трубок, для легкого снятия во время прогрева.)
    Материалы    
    Корпус и держатель Нержавеющая сталь 304 Нержавеющая сталь 304
    Пружины Молибден и инконель X-750 Молибден и инконель X-750
    Водяные, воздушные и коаксиальные линии Воздушные и водяные трубки бесшовные из нержавеющей стали 304: внешний диаметр 0,125 дюйма (3 мм); толщина стенки 0,015 дюйма (0,4 мм)
    Диаметр коаксиальных кабелей 0,188 дюйма (5 мм)
     
    Остальные механические части Нержавеющая сталь 304 или 18-8 Нержавеющая сталь 304 или 18-8
    Изоляторы >99% Al2O3 в вакууме; остальное - керамика высокой плотности >99% Al2O3 в вакууме; остальное - керамика высокой плотности
    Провода

    1) Ni (в вакууме)

    2) Медь с никелевым покрытием (остальное)

    1) Ni (в вакууме)

    2) Медь с никелевым покрытием (остальное)

    Припой Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr Вакуумный высокотемпературный сплав Ni-Cr
    Кристалл диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм) диаметр 0.550 дюйм. (13.97 мм)
    UHV PN.png

    Аксессуары

    Каталожный номер Описание
    750-420-G1 Электромагнитный клапан, 24 В (для использования с заслонкой и многокристальными датчиками)

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы

    Запасные части

    Каталожный номер Описание
    007-007 Пружина стопорная (для держателя кристаллов)
    007-064 Керамический фиксатор
    007-094 Зажимная пружина
    007-095 Рукоятка
    007-098 Разъем - мама (включая наконечники и гайку)
    007-099 Прогреваемая контактная головка
    007-100 Изолятор для BNC
    007-103 Изолятор для прогреваемой контактной головки
    007-104 BNC корпус
    007-147 #4-40 X 3/8 крепеж
    007-155 Пайка в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)
    007-156 Пайка в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)
    007-157 Пайка в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)
    007-228 #4-40 X 5/8 крепеж
    007-267-P2 Распорка
    007-268-P1 Изолирующая втулка
    007-269-P1 Изолирующая втулка
    008-007 ДЕРЖАТЕЛЬ КРИСТАЛЛА
    059-0084 Прокладка VCR
    070-201 #4 шайба Гровера
    084-069-P1 #4-40 x 3/16 крепеж
    750-018-P3 Разъёмный хомут
    750-018-P5 Разъёмный хомут
    750-022-G5 Сильфон в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)
    750-022-G6 Сильфон в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)
    750-022-G7 Сильфон в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)
    750-028-G5 Паяный воздуховод в сборе - 12 дюйм. (30.5 см)
    750-028-G6 Паяный воздуховод в сборе - 20 дюйм. (50.8 см)
    750-028-G7 Паяный воздуховод в сборе - 30 дюйм. (76.2 см)
    750-115-P4 Муфта (устанавливается на сильфон)
    750-118-P4 Опора привода
    750-120-G3 Вал в сборе
    750-216-G1 Заслонка в сборе (часть модуля заслонки)
    750-218-G1 Держатель кристалла
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.