Вакуумные датчики среднего вакуума Edge™ CDG100D2 от Inficon (Инфикон)

Диафрагменный емкостной датчик Edge компании INFICON - это высокоточный прибор для измерения вакуума, разработанный для жестких производственных условий. Испытанный терморегулируемый керамический датчик с защитой от коррозии обеспечивает превосходную стабильность диапазона измерения в течение многих лет в сочетании с самой современной стабильностью.Edge поставляется с запатентованной, компанией INFICON, уникальной чувствительной защитой , которая защищает датчик от нежелательных побочных продуктов процесса. Усовершенствованная электроника предлагает широкий спектр настраиваемых преобразователей сигналов для всех применений, а также опциональный интерфейс EtherCAT fieldbus. Инновационная концепция нагрева обеспечивает охлаждение на ощупь поверхности и экономит ценное пространство. INFICON Edge - самый маленький прибор для измерения вакуума в своем роде.

Преимущества

  • Компактный, экономит ценное место
  • Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок
  • Легкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля
  • Диагностический порт для быстрого сервиса и обслуживания
  • Двухлетняя гарантия, более длительный срок службы с усовершенствованной концепцией нагрева и защитой датчика
  • Отсутствие длительной повторной калибровки благодаря превосходной стабильности и повторяемости сигнала даже при использовании в жестких условиях плазмы
  • Соответствие стандартом: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Области применения

  • CVD, Etch, PVD и другие полупроводниковые процессы производства
  • Высокоточные вакуумные датчики (вакуумметры) низкого вакуума с емкостной диафрагмой Edge™ CDG100D2 1 … 1000 Торр мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические параметры характеристики информация для заказа

Спецификация

Тип 1000 ... 500 Торр / мбар 200 ... 1 Торр / мбар
Точность (1) % от показания 0.15 0.15
Температурный эффект    
на нуле процент FS/°C 0.0025 0.0025
на диапазоне % от показания / °C 0.02 0.02
Давление, макс. кПа (абсолютное) 400 260
Разрешение процент FS 0.003 0.003
Нижняя граница чтения процент FS 0.01 0.01
Нижняя рекомендуемая граница считывания процент FS 0.05 0.05
Нижнее рекомендуемое контрольное давление процент FS 0.5 0.5
Температура    
Датчик °C 100 100
При работе (внешняя) (5) °C +10 … +50 +10 … +50
Прогрев на фланце °C ≤110 ≤110
При хранении °C –20 … +65 –20 … +65
Потребляемое напряжение +14 … +30 VDC или ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC или ±15 V (±5%)
Потребляемая мощность    
Во время нагрева Вт ≤20 ≤20
При рабочей температуре Вт ≤14 ≤14
Выходной сигнал (аналоговый) В (DC) 0 … +10 0 … +10
Время отклика (2) мс 30 30
Степень защиты IP 40 IP 40
Стандарты    
CE соответствие EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL сертификация UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
SEMI соотвтствие (5) SEMI S2
Электрическое подключение D-sub, 15 pole, папа D-sub, 15 pole, папа
Уставки    
Количество уставок 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Релейные контакты В (DC) ≤30 ≤30
Гистерезис процент FS 1 1
Диагностический порт    
Протокол RS232-C RS232-C
Считывание давление, статус, ID давление, статус, ID
Настройка уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока
Материалы, взаимодействующие с вакуумом Керамика, оксид алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4)) Керамика, оксид алюминия (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4))
Внутренний объем    
Вн. объем 1/2'' трубка см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем DN 16 ISO KF см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем DN 16 CF-R см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вн. объем 8 VCR® см³ (дюйм.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Вес    
Вес 1/2'' трубка г 837 837
Вес DN 16 ISO KF г 852 852
Вес DN 16 CF-R г 875 875
Вес 8 VCR® г 897 897
EtherCAT    
Протокол EtherCAT Спциальный протокол для EtherCAT Спциальный протокол для EtherCAT
Стандарты коммуникации ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик
Скорость передачи данных Kbps 100000 100000
Адрес узла Явная идентификация устройства Явная идентификация устройства
Физический слой 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Цифровые функции считывания давление, статус, ID давление, статус, ID
Набор цифровых функций уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
Данные обработки Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO
Почтовый ящик (CoE) Запросы SDO, ответы и информация Запросы SDO, ответы и информация
EtherCAT разъем RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT
Кабель экранированный Ethernet CAT5e или выше экранированный Ethernet CAT5e или выше
Длина кабеля м (фут.) ≤100 (330) ≤100 (330)
Разъем для CDG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-sub, 15 pin, папа D-sub, 15 pin, папа

(1) Не линейна, гистерезис, повторяемость при температуре окружающей среды 25 ° C без влияния температуры после 2 часов работы.

(2) Увеличение 10 … 90 процентов FS  

(3) Только для контроля давления

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(5) Температура окружающей среды > 40° C может увеличить температуру поверхности выше уровня соответствия SEMI S2

Высокоточные вакуумные датчики (вакуумметры) низкого вакуума с емкостной диафрагмой Edge™ CDG100D2 1 … 1000 Торр мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн) технические параметры характеристики информация для заказа
Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.