Тип |
MAG5xx |
MPG5xx |
Система измерения |
|
Система измерения ионизации с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона).
|
Система измерения ионизации по Пирани и холодному катоду (по принципу инвертированного магнетрона).
|
Измеряемый диапазон (воздух, N2) |
мбар
|
1х10-9 … 1х10-2
|
1х10-9 … 1000
|
Точность (N2) |
|
|
1х10-8 … 1х10-2 мбар |
% от показания |
30
|
-
|
1х10-2 … 100 мбар |
% от показания |
-
|
30
|
100 … 1000 мбар |
% от показания |
-
|
50
|
Повторяемость (N2) |
|
|
1х10-8 … 1х10-2 мбар |
% от показания |
5
|
-
|
1х10-8 … 100 мбар |
% от показания |
-
|
5
|
Монтажная ориентация |
|
любая
|
любая
|
Допустимое давление |
бар (абсолютная) |
10 (ограничивается инертными газами <55°C)
|
10 (ограничивается инертными газами <55°C)
|
Допустимая температура |
|
|
При работе (внешняя) |
°C |
+5 ... +55
|
+5 ... +55
|
Прогрев на фланце (1) |
°C |
<150
|
<150
|
При хранении |
°C |
-40 ... +70
|
-40 ... +70
|
Температура нити накала |
°C |
-
|
120
|
Относительная влажность за 30 дней в году |
|
|
1х10-7 … 1х10-2 мбар |
% |
<95 (Без конденсации)
|
<95 (Без конденсации)
|
1х10-8 … 1х10-2 мбар |
% |
<70 (Без конденсации)
|
<70 (Без конденсации)
|
Потребляемое напряжение |
|
|
На датчике (2) |
В (DC) |
+14.5 ... +30
|
+14.5 ... +30
|
Пульсация |
В (p-p) |
<1
|
<1
|
Потребляемая мощность |
Вт |
<2
|
<2
|
Предохранитель для подключения |
AT |
<1
|
<1
|
Диапазон напряжения |
|
|
Аналоговый выход |
В |
0 ... +10.5
|
0 ... +10.5
|
Диапазон измерения |
|
|
3MAx-xxx-xxxN |
В |
<+0.5
|
|
3MBx-xxx-xxxP |
В |
-
|
|
3MAx-xxx-xxxQ |
В |
+0.667 ... +10
|
|
Зависимость напряжение - давление |
|
|
3MAx-xxx-xxxN |
В на декаду |
1 (логорифмическая)
|
|
3MBx-xxx-xxxP |
В на декаду |
-
|
|
3MAx-xxx-xxxQ |
В на декаду |
1.33 (логарифмическая)
|
|
Ошибка сигнала |
|
|
3MAx-xxx-xxxN |
В |
<+0.5
|
|
3MA-xxx-xxxQ |
В |
<+0.3
|
|
3MBx-xxx-xxxP |
В |
-
|
|
Выходное сопротивление |
Ом |
2 x 4.7 (защита от короткого замыкания)
|
|
Сопротивление нагрузки |
кОм |
>10 (защита от короткого замыкания)
|
|
Время реакции шага (зависит от давления) |
|
|
p > 1 x 10-6 мбар |
мс |
<100
|
<100
|
p = 1x10-6...1x10-8 мбар |
с |
~1
|
|
Определение датчика (Соеденительный датчик FCC) |
|
|
3MAx-0xx-000N |
кОм |
-
|
|
3MAx-0xx-000Q |
кОм |
100
|
|
3MBx-0xx-000P |
кОм |
-
|
|
Статус сигнала, цифровой выход (FCC разъем) |
|
|
Токовый номинал |
мА |
100 (сток)
|
|
Высокое напряжение вкл. |
В (DC) |
+14.5 ... +30 (в зависимости от напряжения питания)
|
|
Высокое напряжение выкл. |
В (DC) |
0
|
|
Статус сигнала, цифровой выход (D-sub разъем) |
|
|
Потребляемое напряжение |
В (DC) |
<30
|
|
Токовый номинал |
мА |
100
|
|
Высокое напряжение вкл. |
В (DC) |
0
|
|
Высокое напряжение выкл. |
|
open
|
|
Электрическое соединение |
|
|
3Mxx-0xx-000x |
|
FCC68, 8-pin, мама
|
|
3Mxx-0xx-010x |
|
D-sub, 9-pin, папа
|
|
3Mxx-0xx-04xx |
|
D-Sub HD, 15-pin, папа (для RS232/485 версии)
|
|
3Mxx-xxx-x2Gx |
|
D-Sub HD, 15-pin, папа (для EtherCAT версии)
|
|
Кабель датчика |
|
|
3Mxx-0xx-000x |
|
8-pin, экранированный
|
|
3Mxx-0xx-010x |
|
9-pin, экранированный
|
|
3Mxx-0xx-04xx |
|
D-Sub HD, 15-pin, папа (для RS232/485 версии)
|
|
3Mxx-xxx-x2Gx |
|
D-Sub HD, 15-pin, папа (для EtherCAT версиии)
|
|
Длина кабеля |
|
|
FCC соединительный кабель |
м |
<50 (0.14 мм2/ проводник)
|
|
Высокое напряжение (в измеряемой камере) |
|
|
Напряжение зажигания |
кВ |
<4.5
|
|
Рабочее напряжение |
кВ |
<3.3
|
<3.3
|
Ток (в измеряемой камере) |
|
|
Большой ток |
мкА |
<380
|
|
Малый токLow current |
мкА |
<130
|
|
Реел уставки (MxG55x) |
|
|
Диапазон (N2) |
мбар бар |
5x10-5 ... 1500
|
|
Релейные контакты |
|
нормально открытый (НО), свободный потенциал
|
|
Гистерезис |
% от предела |
10
|
|
Диапазон состояния контактов механических реле |
В/А |
<30/ <1
|
|
Время переключения |
мс |
<30
|
|
Материалы, взаимодействующие с вакуумом |
|
|
3Mx0-xxx-xxxx |
|
Ni сплавы, Mo, AI2O3, стекло, нержавеющая сталь
|
|
3Mx3-xxx-xxxx |
|
Mo, AI2O3, нержавеющая сталь
|
|
3Mx0-11x-xxxx |
|
Ni сплавы, Mo, Al2O3, стекло, Ti, нержавеющая сталь
|
|
3Mx3-11x-xxxx |
|
Mo, Al2O3, Ti, нержавеющая сталь
|
|
Внутренний объем |
|
|
DN 25 ISO-KF |
см³ |
|
|
DN 40 ISO-KF |
см³ |
~20.9
|
|
DN 40 CF-F |
см³ |
~25.2
|
|
DN 40 CF-R |
см³ |
~25.6
|
|
Внутренний объем |
см³ |
22.8
|
22.8
|
Вес (MxG50x) |
|
|
DN 25 ISO-KF |
г |
<280
|
<280
|
DN 40 ISO-KF |
г |
|
<320
|
DN 40 CF-F & CF-R |
г |
<570
|
<570
|
Вес (MxG55x) |
|
|
DN 25 ISO-KF |
г |
<280
|
<280
|
DN 40 ISO-KF |
г |
|
<320
|
DN 40 CF-F & CF-R |
г |
<570
|
<570
|
Степень защиты |
|
IP 40
|
IP 40
|
CE стандарты |
|
|
RoHS |
|
2011/65/EU
|
|
EMC |
|
2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1
|
|
Безопасность |
|
EN 61010-1
|
|
RS232C / 485C (MxG50x) |
|
|
Скорость обмена |
kBaud |
9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6
|
|
Адрес |
|
2 свича (switches) (адрес 00 - 255)
|
|
Цифровые функции |
|
Считывание давления. Выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчет. Контроль состояния датчика, подробная информация о сигналах тревоги и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки.
|
|
Разъем для RS232 & RS485 |
|
D-Sub HD, 15-pin, папа
|
|
EtherCAT® (MxG55x) |
|
|
Протокол |
|
EtherCAT®
|
|
Стандарты связи |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 4)
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)
|
|
Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства
|
|
Физический уровень |
|
100Base-Tx (IEEE 802.3)
|
|
Цифровые функциии |
|
Считывание давления. Выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па, микрон, отсчет. Контроль состояния датчика, подробная информация о сигналах тревоги и предупреждениях, безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки.
|
|
EtherCAT разъем |
|
2 x RJ45, 8-pin (разъем), вход & выход
|
|
EtherCAT кабель |
|
Специальный соединительный кабель Ethernet или перекрестный кабель, экранированный (Стандарт CAT5e или выше)
|
|
Длина кабеля |
м (фут) |
<100 (330)
|
|