Высоковакуумные датчики PEG 100 1·10-2 мбар до 1·10-9 мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн)


Высоковакуумные вакуумметры серии PEG 100 от Inficon (Лихтенштейн) - это надежный датчик для осуществления измерений выского вакуума. Конструкция сенсора не имеет элемента, выходящего из строя из-за перегорания. Вакуметр может быть без ограничений применен в напылительных системах из-за применения титановых катодных пластин и пониженного высокго напряжения для генерации плазмы. Дополнительные выходные интерфейсы позволяют помимо передачи логарифмического аналогового сигнала передавать показание в цифровом виде, применяя протоколы Profibus DP или DeviceNet.


Cерия датчиков Пеннинга PEG100 является прямой заменой датчиков серий PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D:


Кат. номер Тип Кат. номер Тип
351-000 PEG100 DN 25 ISO-KF = 157 34 PTR 225 DN 25 KF
351-001 PEG100-S DN 25 ISO-KF, SP = 164 34 PTR225 S DN 25 KF, SP
351-002 PEG100 DN 40 CF-R = 157 36 PTR 237 DN 40 CF-R
351-005 PEG100-P DN 25 ISO-KF, PB = 896 41 PTR 225 PB DN 25 KF, PB 
351-004 PEG100-D DN 40 CF-R, DevNet = 896 42 PTR 237 D DN 40 CF-R, DevNet
351-499 PEG100 Запасное анодное кольцо = 200 28 711 PTR Запасное анодное кольцо
351-490 PEG100 Запасные катодные пластины (5 шт.) = 16291 PTR

Запасные катодные пластины (5 шт.)


Пожалуйста, ознакомьтесь с нашей линейкой Gemini MxG50x, которая представляет собой передовые технологии в области вакуумметров с холодным катодом и может заменить линейку PTR 225 / PTR 237 / PTR 90.

Преимущества

  • Широкий диапазон измерений 1·10-2 мбар до 1·10-9 мбар;
  • Полностью металлический сенсор (Пеннинга) с керамическим токовводом;
  • Конструкция сенсора оптимизирована для лучшего процесса "поджига";
  • Пониженное высокое напряжние плазмы и применение катодныъ титановых пластин снижают риск загрязнений, даже в процесах вакуумных напылений с напуском аргона;
  • Простота чистки и замены анодных колец и катодных пластин;
  • Минимальный уровень интенсивности магнитного поля;
  • LED индикатор питания и плазмы;
  • Логарифмический выходной аналоговый сигнал;
  • Цифровой интерфейс передачи выходного сигнала (Profibus DB, DeviceNet)

Основные применения

  • Мониторинг давления высокого вакуума;
  • Основной датчик для напылительных систем
  • Измерений полного давления в области высокого вакуума.

Параметры

Тип PEG100
Диапазон измерения мбар 1·10-9 to 1·10-2
Точность  
10-8 to 10-4 mbar % от показания ±30
Макс. давление, абс. бар бар 10
Температура  
При работе (внешняя) °C +10 до +50
При хранении °C -20 до +75
прогрев без электроники °C 350
прогрев с электроникой, на фланце °C 70
Питание  
Напряжение В (DC) 14.5 - 36
Потребление, макс. Вт <2
Аналоговый выходной сигнал  
Выходной сигнал В 0 до 10.6
Диапазон измерения В 0.66 до 10
Разрешение В на декаду 1.333
Тип подключения FCC 68, мама, 8 пин (экранированный)
Длина кабеля, макс. (аналоговый) м 50
Материалы в контакте с вакуумом нержавеющая сталь, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
Внутренний объем cm? ≈21
Масса. г 500
Категория защиты IP40
Интерфейс DeviceNet™  
Тип устройства generic
Явный обмен командами нет
I/O обмен командами нет
Значение согласованности конфигурации нет
Восстановление неисправного узла нет
Скорости передачи kBaud 125 / 250 / 500
Мастер/Сканнер нет
I/0 slave передача: Bit Strobe да
I/0 slave передача: Polling да
I/0 slave передача: Цикличность да
I / 0 slave передача: изменение состояния (COS) да
Питание DeviceNet™ В (DC) 11 - 25
Подключение DeviceNet™ Разъем Phoenix Combicon, 5 пин
Profibus DP  
Скорости передачи (авто определение) kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
Расширенные параметры данных Байт 5
Конфигурирование: количество входных и выходных данных 2
Sync-Mode and Freeze-Mode да
Подключение Profibus разъем D-sub, 9 пин

Каталожный номер

Вакуумные датчики серии PEG 100

Номер по каталогу Описание
Вакуумметр PEG 100 с холодным катодом от Inficon аналог PTR от Leybold 351-002 Датчик высокого вакуума (вакууметр) PEG100, DN 40 CF
351-003 Датчик высокого вакуума (вакууметр) PEG100 DNet, DN 25 ISO-KF
351-004 Датчик высокого вакуума (вакууметр) PEG100 DNet, DN 40 CF
351-005 Датчик высокого вакуума (вакууметр) PEG100 PBus, DN 25 ISO-KF

Краткая информация

Руководства по эксплуатации

Каталог

Модели 3D

Прочие файлы

Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.