Широкодиапазоные 1000 мбар до 5·10^-9 мбар комбинированные вакуумные датчики MPG40x от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн)

Широкодиапазоные вакууметры серии MPG от Inficon сочетающие в себе принципы измерения вакуума Пирани и Пеннинга (инверсный магнетрон) позволяют измерять вакуум в диапазоне от атмосферного давления до уровней сверхвысокого вакуума (5·10^-9 мбар). Объединяя в один логарифмический аналоговый выходной сигнал весь диапазон, датчик значительно упрощает измерительную систему и предоставляет удобство интеграции.

Инвертированный магнетронный датчик с холодным катодом серии MAG400 является прямой заменой серии датчиков PTR 90:

Кроме того, линейка Gemini MxG50x, которая представляет собой передовые технологии в области вакуумметров с холодным катодом может заменить линейку PTR 225 / PTR 237 / PTR 90.

• Обзор
• Параметры
• Номер по каталогу
• Аксессуары
• Загрузить

Преимущества

• 2 вакууметра в одном - Инверсный магнетрон и Пирани;
• Широкий диапазон измерений 1000 мбар до 5 х 10^-9 мбар;
• Нет выходящей из строя нити накаливания;
• Отличные тепловые характеристики;
• Простота чистки;
• Различные типа уплотнений токоввода: FPM или металл;
• LED индикация для включения высоккого напряжения;
• Логарифмический выходной аналоговый сигнал;
• Самое экономичное решение для высоковакуумных измерений

Основные применения

• Мониторинг давления высокого вакуума;
• Основной датчик для напылительных систем
• Измерений полного давления в обсластях среднего и высокого вакуума.

Параметры

Type		MPG400 FPM уплотение	MPG401 металл уплотнение
Диапазон измерений (воздух, N2)	мбар	5×10-9 … 1000	5×10-9 … 1000
Точность (N2)
1×10-8 … 100 mbar	% от показания	±30%	±30%
Повторяемость
1×10-8 … 100 mbar	% от показания	±5%	±5%
Ориеентация монтажа		любая	любая
Допустимое давление	бар (абслолютное)	?10	?10
Допустимая температура
При работе (окружающая)	°C	+5 … +55	+5 … +55
При хранении	°C	–40 … +65	–40 … +65
Прогрева (без электроники)	°C	150	150
Температура нити (Пирани)	°C	120	120
Напряжение питания
На датчике	В (DC)	+15 … +30	+15 … +30
На источнике питания при макс. длине кабеля (1)	В (DC)	+16 … +30	+16 … +30
Пульсация	В (p-p)	?1	?1
Потребляемая мощность	Вт	?2	?2
Номинал предохранителя	AT	?1	?1
Выходной сигнал (измеряемый)
Диапазон напряжения	В	0 … +10.5	0 … +10.5
Диапазон измерения	В	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
Зависимость давление-напряжение		логарифмическая, 0.6В на декаду	логарифмическая, 0.6В на декаду
Сигнал ошибки
Без питания	В	<0.5	<0.5
Сенсор Пирани, повреждение элемента	В	>9.5	>9.5
Импенданс	Ω	2 x 10	2 x 10
Минимальный импенданс нагрузки	kΩ	10, защита от короткого замыкания	10, защита от короткого замыкания
Время отклика
p > 10-6 мбар	мс	<10	<10
p = 10-8 мбар	мс	≈1000	≈1000
Идентификатор датчика		85, зависит от общего питания	85, зависит от общего питания
Состояние
Режим только Пирани	В	0 (низкий)	0 (низкий)
Комбинация Пирани + Пеннинга	V	15 … 30 (высокое)	15 … 30 (высокое)
LED	LED зеленый	включено высокое напряжение	включено высокое напряжение
Электрические подключения		Разъем FCC 68, 8 пин, мама	Разъем FCC 68, 8 пин, мама
Кабель		Экранированный, 8 пин	Экранированный, 8 пин
Длина кабеля	м	<50 (8 x 0.14 мм2)	<50 (8 x 0.14 мм2)
Рабочее напряжение	кВ	<3.3	<3.3
Рабочий ток	µA	≤500	≤ 500
Материалы в вакууме		нержавеющая сталь, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	нерхавеющая сталь, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
Внутренний объем	cm3	≈20	≈20
Масса
DN 25 ISO-KF	г	700	?730
DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
DN 40 CF-F	г	≈980	≈1010
Категория защиты		IP 40	IP 40
Стандарты
Соответствие		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

Каталожный номер

Вакуумные датчики серии MPG400 уплотнение FPM
Номер по каталогу	Описание
351-010	Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 25 ISO-KF
351-011	Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 40 ISO-KF
351-012	Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 40 CF
Вакуумные датчики серии MPG400 уплотнение металл
351-020	Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 25 ISO-KF
351-021	Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 40 ISO-KF
351-022	Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 40 CF
351-023	Магнитный экран

Аксессуары

Для вакууметров серии MPG400 с уплотнением FPM
Номер по каталогу	Описание
351-023	Магнитный экран для MPG 40x
Для вакууметров серии MPG400 с металлическим уплотнением
351-023	Магнитный экран

Краткая информация

• Лист технических параметров: вакууметр серии MPG40x от 1000 мбар до высокого вакуума от Inficon (англ. яз)

Руководства по эксплуатации

• Руководство по эксплуатации (краткое): вакууметр серии MPG40x от 1000 мбар до высокого вакуума от Inficon, краткое (англ. яз)
• Руководство по эксплуатации (краткое): вакууметр серии MPG40x от 1000 мбар до высокого вакуума от Inficon, полное (англ. яз)

Каталог

• Каталог датчиков вакуума от Inficon (английский)
• Каталог датчиков вакуума от Inficon (русский)

Модели 3D

• Вакууметр типа Пирани 350-010 MPG400 FPM DN 25 ISO-KF
• Вакууметр типа Пирани 350-011 MPG400 FPM DN 40 ISO-KF
• Вакууметр типа Пирани 350-012 MPG400 FPM DN 40 CF
• Вакууметр типа Пирани 350-020 MPG401 металлическое уплотнение DN 25 ISO-KF
• Вакууметр типа Пирани 350-021 MPG401 металлическое уплотнение DN 40 ISO-KF
• Вакууметр типа Пирани 350-022 MPG401 металлическое уплотнение DN 40 CF

Видео

• Обслуживание широкодиапазонного вакууметра MPG 400 от Inficon AG (10:20, YouTube).