Вакуумный ввод для датчиков QCM

INFICON предлагает множество вакуумных вводов для датчиков Quartz Crystal Monitor (QCM), которые подходят для многих конфигураций датчиков и камер QCM. Отверстия под болты CF40 (2,75 дюйма, ConFlat®) и 2,54 см (1 дюйм) доступны с различными комбинациями электрических соединений, водяного охлаждения и воздушных трубок. Вакуумный ввод INFICON также может быть оснащен компрессионными фитингами с уплотнительным кольцом Ultra-Torr для упрощения установки и регулировки длины датчика. Другие виды вакуумных вводов могут быть доступны по запросу (KF40 и т. д.). За более подробной информацией свяжитесь с INFICON.

Если не указано иное, стандартное сквозное электрическое соединение состоит из коаксиального разъема BNC со стороны атмосферы и разъема Microdot® со стороны вакуума. Этот тип электрического подключения предназначен для использования со следующими датчиками INFICON: Front Load single, Front Load dual, Sputtering, CrystalSix, and Crystal 12 sensors.

Примечание: водяные и воздушные трубки имеют внешний диаметр 4,8 мм (3/16 дюйма).


В следующей таблице приведены краткие справочные сведения о требованиях к вакуумным вводам и номерам деталей в зависимости от типа датчика.