Широкодиапазоные комбинированные вакуумные датчики MPG40x 1000 мбар до 5·10-9 мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн)

Широкодиапазоные вакууметры серии MPG от Inficon сочетающие в себе принципы измерения вакуума Пирани и Пеннинга (инверсный магнетрон) позволяют измерять вакуум в диапазоне от атмосферного давления до уровней сверхвысокого вакуума (5·10-9 мбар). Объединяя в один логарифмический аналоговый выходной сигнал весь диапазон, датчик значительно упрощает измерительную систему и предоставляет удобство интеграции.

Преимущества

  • 2 вакууметра в одном - Инверсный магнетрон и Пирани;
  • Широкий диапазон измерений 1000 мбар до 5 х 10-9 мбар;
  • Нет выходящей из строя нити накаливания;
  • Отличные тепловые характеристики;
  • Простота чистки;
  • Различные типа уплотнений токоввода: FPM или металл;
  • LED индикация для включения высоккого напряжения;
  • Логарифмический выходной аналоговый сигнал;
  • Самое экономичное решение для высоковакуумных измерений

Основные применения

  • Мониторинг давления высокого вакуума;
  • Основной датчик для напылительных систем
  • Измерений полного давления в обсластях среднего и высокого вакуума.

Параметры

Type MPG400 FPM уплотение MPG401 металл уплотнение
Диапазон измерений (воздух, N2) мбар 5×10-9 … 1000 5×10-9 … 1000
Точность (N2)    
1×10-8 … 100 mbar % от показания ±30% ±30%
Повторяемость    
1×10-8 … 100 mbar % от показания ±5% ±5%
Ориеентация монтажа любая любая
Допустимое давление бар (абслолютное) ?10 ?10
Допустимая температура    
При работе (окружающая) °C +5 … +55 +5 … +55
При хранении °C –40 … +65 –40 … +65
Прогрева (без электроники) °C 150 150
Температура нити (Пирани) °C 120 120
Напряжение питания    
На датчике В (DC) +15 … +30 +15 … +30
На источнике питания при макс. длине кабеля (1) В (DC) +16 … +30 +16 … +30
Пульсация В (p-p) ?1 ?1
Потребляемая мощность Вт ?2 ?2
Номинал предохранителя AT ?1 ?1
Выходной сигнал (измеряемый)    
Диапазон напряжения В 0 … +10.5 0 … +10.5
Диапазон измерения В +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
Зависимость давление-напряжение логарифмическая, 0.6В на декаду логарифмическая, 0.6В на декаду
Сигнал ошибки    
Без питания В <0.5 <0.5
Сенсор Пирани, повреждение элемента В >9.5 >9.5
Импенданс Ω 2 x 10 2 x 10
Минимальный импенданс нагрузки 10, защита от короткого замыкания 10, защита от короткого замыкания
Время отклика    
p > 10-6 мбар мс <10 <10
p = 10-8 мбар мс ≈1000 ≈1000
Идентификатор датчика 85, зависит от общего питания 85, зависит от общего питания
Состояние    
Режим только Пирани В 0 (низкий) 0 (низкий)
Комбинация Пирани + Пеннинга V 15 … 30 (высокое) 15 … 30 (высокое)
LED LED зеленый включено высокое напряжение включено высокое напряжение
Электрические подключения Разъем FCC 68, 8 пин, мама Разъем FCC 68, 8 пин, мама
Кабель Экранированный, 8 пин Экранированный, 8 пин
Длина кабеля м <50 (8 x 0.14 мм2) <50 (8 x 0.14 мм2)
Рабочее напряжение кВ <3.3 <3.3
Рабочий ток µA ≤500 ≤ 500
Материалы в вакууме нержавеющая сталь, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W нерхавеющая сталь, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
Внутренний объем cm3 ≈20 ≈20
Масса    
DN 25 ISO-KF г 700 ?730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F г ≈980 ≈1010
Категория защиты IP 40 IP 40
Стандарты    
Соответствие EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

Каталожный номер

Вакуумные датчики серии MPG400 уплотнение FPM

Номер по каталогу Описание
Высоковакуумные вакуумметры MPG40x, 1000 мбар до 5E-9 мбар от Inficon AG (Инфикон, Лихтенштейн)351-010 Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 25 ISO-KF
351-011 Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 40 ISO-KF
351-012 Датчик (вакууметр) MPG400 FPM, DN 40 CF

Вакуумные датчики серии MPG400 уплотнение металл

351-020 Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 25 ISO-KF
351-021 Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 40 ISO-KF
351-022 Датчик (вакууметр) MPG401 металлическое уплотнение, DN 40 CF
351-023 Магнитный экран

Аксессуары

Для вакууметров серии MPG400 с уплотнением FPM
Номер по каталогу Описание
351-023 Магнитный экран для MPG 40x
Для вакууметров серии MPG400 с металлическим уплотнением
351-023 Магнитный экран

Запасные части

Для вакууметра MPG 400 FPM
Номер по каталогу Описание
BN846469-T Запасная измерительная система для MPG400
BN846470-T Запасная измерительная система для MPG400 DN 40 ISO-KF
BN846471-T Запасная измерительная система для MPG400 DN 40 CF
351-994 Инструмент для замены нити для MPG 40x
351-995 Запасная нить для MPG 40x/50x
351-998 Комплект для ремонта MPG 400
351-999 Комплект для обслуживания MPG 400
Для вакууметра MPG 401 металлическое уплотнение
Номер по каталогу Описание
BN846472-T Запасная измерительная система для MPG401 DN 25 ISO-KF
BN846472-T Запасная измерительная система для MPG401 DN 40 ISO-KF
BN846473-T Запасная измерительная система для MPG401 DN 40 CF
351-994 Инструмент для замены нити для MPG 40x
351-995 Запасная нить для MPG 40x/50x
351-998 Комплект для ремонта MPG 400
351-999 Комплект для обслуживания MPG 400

Краткая информация

Руководства по эксплуатации

Каталог

Модели 3D

Видео

Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.