ALD Сенсор
ОПТИМАЛЬНАЯ ТОЧНОСТЬ, ВРЕМЯ РАБОТЫ И МИНИМАЛЬНОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ ДЛЯ АСО-ПРИМЕНЕНИЙ
Датчики INFICON ALD обеспечивают повторяемость, точность и долговечность измерений осаждения атомных
слоев (АСО) на кристаллах кварца (QCM). Датчик ALD может выдерживать температуры до 450 °C. Он
предназначен для работы в суровых условиях АСО. Обнаженный электрод кристалла полностью заземлен, чтобы
эффективно устранять любые потенциальные проблемы с электрическими наводками.
Разработан специально для АСО
Уникальной особенностью датчика INFICON ALD является наличие трубки, используемой для продувки
задней части кристалла и полости датчика инертным газом, обычно азотом.Это предотвращает попадание реактивных
газов камеры в сенсорную головку и предохраняет заднюю часть кристалла и электрические контакты от осаждаемого
материала. Этот метод позволяет проводить измерения в системах, где стандартный датчик QCM не подходит.
Вакуумный ввод
Датчики INFICON ALD доступны с индивидуальной сварной длиной или с компрессионными фитингами для
регулировки длины без пайки или сварки. Во всех конфигурациях используется вакуумный фланец размером 2¾ дюйма (CF40) ConFlat®.
Высокотемпературные кристаллы для более точных измерений
Датчик INFICON ALD может обеспечить наилучшую точность измерения, а так же низкочастотные колебания
в высокотемпературных применениях при использовании новых высокотемпературных кристаллов кварца INFICON.
Эти высокотемпературные кристаллы оптимизированы для применений при 120, 240 и 285 ° C, поэтому у вас
всегда есть подходящий кристалл для вашего процесса. Для подбора кристаллов с оптимизацией под другую
температуру необходимо связаться с представителем INFICON.
Преимущества
Совместимость с большинством температур процессов АСО
Значительно снижена потребность в обслуживании
Увеличено время безотказной работы системы
Повышена точность измерения
Стабильные показания с низким уровнем помех при высоких температурах процесса
Функции
Рабочая температура до 450 °C
Продувка газом защищает кристаллы от осаждения
Приварной фланец Conflat (CF40)
Компрессионный фитинг с уплотнительным кольцом
Поддерживаются высокотемпературные кристаллы
Область применения
Атомно-слоевое осаждение (АСО)
Аксессуары
| Каталожный номер |
Описание |
|
750-1058-G10
|
120 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
|
750-1059-G10
|
240 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
|
750-1060-G10
|
285 °C оптимизированные кристаллы, 6 МГц, 14 мм (0.55 дюйм.), золото, упаковка 10 шт. |
Запасные части
| Каталожный номер |
Описание |
|
007-007
|
Пружина стопорная (для держателя кристаллов) |
|
007-064
|
Керамический фиксатор |
|
007-094
|
Зажимная пружина |
|
007-095
|
Рукоятка |
|
007-098
|
Разъем - мама (включая наконечники и гайку) |
|
007-099
|
Прогреваемая контактная головка |
|
007-100
|
Изолятор для BNC |
|
007-103
|
Изолятор для прогреваемой контактной головки |
|
007-104
|
BNC корпус |
|
007-147
|
#4-40 X 3/8 крепеж |
|
007-228
|
#4-40 X 5/8 крепеж |
|
007-267-P2
|
Распорка |
|
007-268-P1
|
Изолирующая втулка |
|
007-269-P1
|
Изолирующая втулка |
|
070-201
|
#4 Sшайба Гровера |
|
084-069-P1
|
#4-40 x 3/16 крепеж |
|
750-018-P3
|
Разъёмный хомут |
|
750-018-P5
|
Разъёмный хомут |
|
750-218-G1
|
Держатель кристалла |
Спецификации
Брошюры
Руководства
Каталоги