Контроллер осаждения тонких пленок IC6

ПРЕВОСХОДНАЯ ВОСПРОИЗВОДИМОСТЬ

Многофункциональный контроллер IC6 обеспечивает наивысшую возможную точность измерений

Контроллер осаждения тонких пленок IC6 обеспечивает исключительные характеристики, сочетая проверенные технологии контроллеров тонких пленок INFICON с уникальными функциями, разработанными для того, чтобы вы могли добиться максимальной отдачи от процесса нанесения. IC6 использует нашу систему измерения частоты ModeLock для обеспечения стабильности измерения скорости и толщины с лучшим разрешением в отрасли: 0,00433 Å/с, каждые 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на кварцевом кристалле не обладает такими характеристиками, качеством и функциями, как IC6, что позволяет добиться повторяемости результатов.

• Обзор
• Характеристики
• Каталожный номер
• Аксессуары
• Расходные материалы
• Загрузки

Функции

Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильные измерения с высочайшим разрешением и толщиной даже при очень низких скоростях

Auto Z улучшает точность толщины за счет автоматического определения Z-коэффициента по мере нанесения материала

Совместное осаждение до шести источников одновременно

Цветной ЖК-дисплей позволяет легко видеть, что происходит в вашем процессе

+/- 0,0035 Гц за 100 мс выборки

USB-накопитель для снимков экрана, хранения рецептов и регистрации данных

Мощный ввод-вывод с возможностью интеграции в простые или сложные системы (с использованием расширяемых входов (28) и выходов (24 реле, 14 TTL-выходов) и использования логических функций (100 логических операторов)

6 стандартных выходов ЦАП, 6 дополнительных опций для контроля источника, скорости или толщины

Может обрабатывать до 50 процессов по 200 слоев в каждом, а процессы могут быть связаны друг с другом максимум до 10 000 слоев

Усреднение по нескольким датчикам (до 8 датчиков)

Опционально: XIU, длиной 4 метра, позволяет использовать длинные кабели датчиков в вакууме для больших систем.

Опционально: протокол связи Ethernet

Опционально: программное обеспечение редактора конфигурации IC6 (каталожный номер 781-620-G1) - программное обеспечение для Windows® на основе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертировать файлы конфигурации IC / 5 в формат IC6.

Соответствие RoHS

Области применения

Высококачественные оптические покрытия

Характеристики

Тип		IC6
Характеристики измерений
Разрешение по частоте		±0.0035 Гц @ 6 MГц
Разрешение / измерение толщины и скорости (1)		±0.00433 Å
Диапазон частот измерения		6.0 до 4.5 MГц (фиксированно)
Точность измерения толщины (2)		0.5%
Интервал измерения		0.10 с
Усреднение по нескольким измерениям		Разрешенные усреднения: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, и 30.0 сек
Особые функции
Auto Z		да
Autotone		да
Совместное осаждение		да (до 6 источников)
Рецепт процесса & управление данными
Материальные программы		32
Количество слоев (на 1 процесс)		200
Процессы		50 (процессы могут быть связаны вместе)
USB-память		да
Запись данных		да
Аппаратные функции
Сенсоры (3)
Одиночный		8
Двойной / CrystalTwo®		4 / 8 ( с реле CrystalTwo®)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
Универсальный		8
Управление источниками
Количество источников (4)		до 6
Контроль напряжения источников		0 +/-10 В, регулируемый
Выходное разрешение		15 бит во всем диапазоне (от 0 до 10 В)
Позиции тиглей		64
Входы / Выходы
Входы		14 стандартных, до 28 дополнительных; Совместимость логики TTL / CMOS или замыкание на землю
Выходы		8 стандартных, до 24 дополнительных программируемых реле SPST, рассчитанных на 30 В (DC) или 30 В (AC) среднеквадратичное значение или 42 В пиковое при 2,5 А; 14 дополнительных выходов TTL
Выход на регистрируещее устройство (4)		от 0 до +10 В, регулируемый
Логические утверждения		100 полностью программируемых; до 5 действий, 5 событий на утверждение
Коммуникации
Стандарт		RS232
Опционально		Ethernet
Дисплей
Разрешение по толщине		1 Å от 0 до 9.999 kÅ 10 Å от 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å от 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ от 1000 до 9999 kÅ
Разрешение по скорости нанесения		0.001 от 0 до 9.999 Å/с если время рейт-фильтра установлено 10 секунд или больше 0.01 от 0 до 99.99 Å/с 0.1 от 100 до 999.9 Å/с
Эксплуатация
Требования к питанию		100 – 230 В (ac) +/- 15% 50 / 60 Гц +/- 3 Гц
Температура эксплуатации		0 до 50°C (32 до 122°F)
Габаритные размеры без учета креплений (Ш x В x Д)		5.25” x 19” x 13” (133 мм x 483 мм x 330 мм)
Масса		23 фунта (10.5 кг)

(1) Инструменты / плотность = 100/1, основная частота = 6 МГц

(2) Зависит от процесса; данные отражают типичную точность

(3) Максимальная конфигурация каждого типа

(4) IC6 имеет 6 стандартных выходов ЦАП, еще 6 можно добавить в качестве опции. Любой из 12 может быть настроен для управления источником через напряжение или через выходы записывающего устройства, однако количество источников, которыми можно управлять одновременно, составляет 6 шт.

Аксессуары

Название	Описание
Одиночный датчик с загрузкой спереди	Одиночный датчик с загрузкой спереди
Двойной датчик с загрузкой cпереди	Двойной датчик с загрузкой cпереди
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом	Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом	Двойной датчик с охлаждаемым корпусом
Двойной сенсор Easy Rate	Двойной сенсор Easy Rate
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума	Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума
ALD Сенсор	ALD Сенсор
Датчик распыления	Датчик распыления
Датчик Crystal Six	Датчик Crystal Six
Одиночный сенсор Easy Rate	Одиночный сенсор Easy Rate
Датчик Crystal 12	Датчик Crystal 12
Поворотный датчик RSH-600	Поворотный датчик RSH-600

Каталожный номер	Описание
755-262-G1	Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности)
779-220-G1	Коммутатор CrystalTwo®, 15.2 см (6 дюйм.) BNC Кабели
779-220-G2	Коммутатор CrystalTwo®, 50.8 см (20 дюйм.) BNC Кабели
Комплект осцилляторов	(Включая осцилятор и кабели)
781-611-G15	XIU PKG с кабелем 4,6 м (15 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
781-611-G30	XIU PKG с кабелем 9,1 м (30 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
781-611-G50	XIU PKG с кабелем длиной 15,2 м (50 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
781-611-G100	XIU PKG с кабелем 30,5 м (100 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
781-612-G15	4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-612-G30	4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-612-G50	4м XIU PKG с кабелем XIU 15,2 м (50 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-612-G100	4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-613-G15	4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-613-G30	4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-613-G50	4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15,2 м (50 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-613-G100	4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
Только осциллятор	(Кабели в комплект не входят)
781-600-G1	XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
781-600-G2	XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6
Кабели
600-1261-P100	Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
600-1261-P15	Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
600-1261-P30	Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
600-1261-P50	Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
755-257-G6	Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода
ПО редактора конфигурации
781-620-G1	ПО IC6 - программное обеспечение Windows® на базе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертирует файлы конфигурации IC/5 в формат IC6.

Расходные материалы

Наименоввние	Описание
Кварцевые кристаллы для мониторинга	Кварцевые кристаллы для мониторинга

Брошюры

• Контроллер осаждения тонких пленок для оптических применений (English)

Руководства

• Руководство по эксплуатации контроллера осаждения тонких пленок IC6 (English)
• Инструкция коммутатор CrystalTwo (English)

Каталоги

• Каталог "Осаждение тонких пленок" (English)

Остальные файлы

• Примечания к применению: Auto-Z: путь к точному контролю толщины слоя (English)
• Технические примечания: технология интеллектуального осциллятора для измерений с помощью кристаллов кварца и преимущества для процессов тонких пленок (English)
• Определение массы с помощью пьезоэлектрических кварцевых резонаторов ( English)
• Снижение отклонений в техпроцессе за счет мониторинга многоточечного кристалла сенсора (English)
• Регистратор данных IC6/Cygnus 2 (Файл проекта) |DE|
• Регистратор данных IC6/Cygnus 2 (установочный файл)