• print this site
Кристалл кварц PVD-процесс мониторинг скорость осаждения тонких пленок, сбора точных данных измерений, оптимизации применения и автоматизации процесса в сочетании с контроллером. Купить, заказать Inficon Cygnus 2.

Контроллер осаждения тонких пленок Cygnus® 2

Нпаивысшая возможная точность измерений для OLED-применений

Контроллер осаждения тонких пленок Cygnus 2 обеспечивает исключительные характеристики, сочетая проверенные технологии контроллеров тонких пленок INFICON с уникальными функциями, разработанными для того, чтобы вы могли максимально эффективно использовать OLED-процесс. Cygnus 2 использует нашу систему измерения частоты ModeLock для обеспечения стабильности измерения скорости и толщины с лучшим разрешением в отрасли: 0,00433 Å/с, каждые 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на кварцевом кристалле не обладает такими характеристиками, качеством и функциями, как Cygnus 2, что позволяет добиться повторяемости результатов.

Функции


  • Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильные измерения с высочайшим разрешением и толщиной даже при очень низких скоростях
  • Auto Z улучшает точность толщины за счет автоматического определения Z-коэффициента по мере нанесения материала
  • Совместное осаждение до 6 источников одновременно
  • Цветной ЖК-дисплей позволяет легко видеть, что происходит в вашем процессе
  • Измерение 10 Гц
  • +/- 0,0035 Гц за 100 мс выборки
  • USB-накопитель для снимков экрана, хранения рецептов и регистрации данных
  • Суммирование толщин от нескольких источников
  • Усреднение скорости измерения для материалов с низкой плотностью и очень низкой скоростью (до 30 секунд со стабильными источниками для очень низкой скорости осаждения легирующего материала OLED)
  • Разрешение дисплея до 0,001 Å
  • Опционально: XIU, длиной 4 метра, позволяет использовать длинные кабели датчиков в вакууме для больших систем.
  • Контроль отсутствия осаждения позволяет осуществлять непрерывный контроль источника, поскольку подложки циклически проходят через камеру осаждения
  • 6 стандартных выходов ЦАП, 6 дополнительных опций для контроля источника, скорости или толщины
  • Опционально: протокол связи Ethernet
  • Соответствие RoHS

    • Характеристики

    Тип Cygnus 2
    Характеристики измерений  
    Разрешение по частоте ±0.0035 Гц @ 6 MГц
    Разрешение / измерение толщины и скорости (1) ±0.00433 Å
    Диапазон частот измерения 6.0 до 4.5 MГц (фиксированно)
    Точность измерения толщины (2) 0.5%
    Интервал измерения 0.10 с
    Усреднение по нескольким измерениям Разрешенные усреднения: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, и 30.0 сек
    Особые функции  
    Auto Z да
    Считывание нескольких сенсоров да (до 6 источников)
    Совместное осаждение да (до 6 источников)
    Рецепт процесса & управление данными  
    Материальные программы 6 независимых материалов
    USB-память да
    Запись данных да
    Аппаратные функции  
    Сенсоры (3)  
    Одиночный 6
    Двойной / CrystalTwo® 6 (с одним реле CrystalTwo на каждый вход датчика)
    CrystalSix® 6
    Crystal 12® 6
    Универсальный 6
    Управление источниками  
    Количество источников (4) до 6
    Контроль напряжения источников 0 +/-10 В, регулируемый
    Выходное разрешение 15 бит во всем диапазоне (от 0 до 10 В)
    Позиции тиглей 64
    Входы / Выходы  
    Входы 14 стандартных, до 28 дополнительных; Совместимость логики TTL / CMOS или замыкание на землю
    Выходы 8 стандартных, до 24 дополнительных программируемых реле SPST, рассчитанных на 30 В (DC) или 30 В (AC) среднеквадратичное значение или 42 В пиковое при 2,5 А; 14 дополнительных выходов TTL
    Выход на регистрируещее устройство (4) от 0 до +10 В, регулируемый
    Логические утверждения 100 полностью программируемых; до 5 действий, 5 событий на утверждение
    Коммуникации  
    Стандарт RS232
    Опционально Ethernet
    Дисплей  
    Разрешение по толщине

    1 Å от 0 до 9.999 kÅ

    10 Å от 10.00 до 99.99 kÅ

    100 Å от 100.0 до 999.9 kÅ

    1 kÅ от 1000 до 9999 kÅ

    Разрешение по скорости нанесения

    0.001 от 0 до 9.999 Å/с если время рейт-фильтра установлено 10 секунд или больше

    0.01 от 0 до 99.99 Å/с

    0.1 от 100 до 999.9 Å/с
    Эксплуатация  
    Требования к питанию

    100 – 230 В (ac) +/- 15%

    50 / 60 Гц +/- 3 Гц

    Температура эксплуатации 0 до 50°C (32 до 122°F)
    Габаритные размеры без учета креплений (Ш x В x Д) 5.25” x 19” x 13” (133 мм x 483 мм x 330 мм)
    Масса 33 фунта (5.9 кг)

    (1) Инструменты / плотность = 100/1, основная частота = 6 МГц

    (2) Зависит от процесса; данные отражают типичную точность

    (3) Максимальная конфигурация каждого типа

    (4) IC6 имеет 6 стандартных выходов ЦАП, еще 6 можно добавить в качестве опции. Любой из 12 может быть настроен для управления источником через напряжение или через выходы записывающего устройства, однако количество источников, которыми можно управлять одновременно, составляет 6 шт.

    IC6_OrderChart_2018_web.png

    Аксессуары

    Название Описание
    Одиночный датчик с загрузкой спереди Одиночный датчик с загрузкой спереди
    Двойной датчик с загрузкой cпереди Двойной датчик с загрузкой cпереди
    Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной датчик с охлаждаемым корпусом Двойной датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной сенсор Easy Rate Двойной сенсор Easy Rate
    Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума
    ALD Сенсор ALD Сенсор
    Датчик распыления Датчик распыления
    Датчик Crystal Six Датчик Crystal Six
    Одиночный сенсор Easy Rate Одиночный сенсор Easy Rate
    Датчик Crystal 12 Датчик Crystal 12
    Поворотный датчик RSH-600 Поворотный датчик RSH-600
    Каталожный номер Описание
    755-262-G1 Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности)
    779-220-G1 Коммутатор CrystalTwo®, 15.2 см (6 дюйм.) BNC Кабели
    779-220-G2 Коммутатор CrystalTwo®, 50.8 см (20 дюйм.) BNC Кабели
    Комплект осцилляторов (Включая осцилятор и кабели)
    781-611-G15 XIU PKG с кабелем 4,6 м (15 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
    781-611-G30 XIU PKG с кабелем 9,1 м (30 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
    781-611-G50 XIU PKG с кабелем длиной 15,2 м (50 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
    781-611-G100 XIU PKG с кабелем 30,5 м (100 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3
    781-612-G15 4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-612-G30 4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-612-G50 4м XIU PKG с кабелем XIU 15,2 м (50 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (XIU для сквозного подключения) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-612-G100 4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-613-G15 4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-613-G30 4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-613-G50 4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15,2 м (50 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-613-G100 4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    Только осциллятор (Кабели в комплект не входят)
    781-600-G1 XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    781-600-G2 XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6
    Кабели
    600-1261-P100 Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P15 Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P30 Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P50 Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    755-257-G6 Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы для мониторинга Кварцевые кристаллы для мониторинга

    Брошюры

    Руководства

    Каталоги

    Остальные файлы

    • to top
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.