Контроллер осаждения тонких пленок SQC-310

Высокоточный контроль последовательного или одновременного осаждения

Благодаря передовой электронике, улучшенному дисплею и очень доступной цене серия INFICON SQC-310 предоставляет вам функции, которых нет в тонкопленочных контроллерах конкурентов. И вы можете выбрать идеальную модель для вашего приложения: последовательное осаждение (SQC-310) или одновременное (SQC-310C).

 

Функции


  • Яркий цветной ЖК-дисплей. Доступные языки: английский, китайский.
  • Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)
  • Простая настройка и управление с помощью меню «Быстрая настройка», 6 кнопок и удобное колесо для настройки параметров.
  • Программа под Windows® для разработки, тестирования и загрузки процессов, а также для записи данных прибора на ваш компьютер, а также анализа процесса и контроля качества
  • Точное управление процессом, особенно при низких скоростях осаждения, с разрешением ± 0,03 Гц при 10 считываниях в секунду
  • Память для хранения до 100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок
  • Контроль материала источника с помощью одного датчика или нескольких для обеспечения точного контроля
  • Характеристики

    Тип SQC-310 SQC-310C
    Измерение    
    QCM входы 2 (4 опционально) 4
    Диапазон частот измерения Настройка:
    1.0 МГц мин.
    6.5 МГц макс.
    Настройка:
    1.0 МГц мин.
    6.5 МГц макс.
    Разрешение по частоте (1) ± 0.012 Гц ± 0.012 Гц
    Thickness and rate resolution/measurement (2) ±0.015 Å ±0.015 Å
    Стабильность по частоте ± 2 ppm в сумме, 0 до 50C ± 2 ppm в сумме, 0 до 50C
    Интервал измерения 0.10 до 1.0 с (регулировка) 0.10 до 1.0 с (регулировка)
    Отображение скорости 0.01 Å/сек 0.01 Å/сек
    Управление    
    Память 100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок 100 процессов, 1000 слоев, 50 пленок
    Выходы управления 2 (4 опционально) 4
    Выходной сигнал ± 0 до 10 В (DC), 15 бит ± 0 до 10 В (DC), 15 бит
    Цифровые входы / реле 8/8 (16/16 опционально) 16/16
    Цифровые входы 5 В (DC) без изоляции 5 В (DC) без изоляции
    Реле SPST Form 1A, 30В, 2A макс. SPST Form 1A, 30В, 2A макс.
    Интерфейсы Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально) Стандарты RS-232 и USB (RS-232 и Ethernet опционально)
    Удаленный контроль питания Опционально (IPN 782-900-017) Опционально (IPN 782-900-017)
    Дисплей    
    Тип Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240 Цветной ЖК-экран с активной матрицей 1/4 VGA 320 x 240
    Графики Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим Скорость, отклонение, мощность или числовой полноэкранный режим
    Основные    
    Питание 100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт 100-240 В (AC), 50/60 Гц, 25 Вт
    Соответствие стандартам CE, RoHS CE, RoHS
    ПО Windows® Идет в комплекте Идет в комплекте
    Корпус / Монтаж 5 1/4” половина стойки 5 1/4” половина стойки
    (1) Разрешение указано для интервала измерения 0,25 с
    (2)Оснастка/плотность = 100/1, основная частота = 6 МГц, интервал измерения 0,25 с

    SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

    Аксессуары

    Название Описание
    Одиночный датчик с загрузкой спереди Одиночный датчик с загрузкой спереди
    Двойной датчик с загрузкой cпереди Двойной датчик с загрузкой cпереди
    Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной датчик с охлаждаемым корпусом Двойной датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной сенсор Easy Rate Двойной сенсор Easy Rate
    Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума
    Датчик распыления Датчик распыления
    Датчик Crystal Six Датчик Crystal Six
    Одиночный сенсор Easy Rate Одиночный сенсор Easy Rate
    Датчик Crystal 12 Датчик Crystal 12
    Поворотный датчик RSH-600 Поворотный датчик RSH-600
    Каталожный номер Описание
    782-900-017 Ручной регулятор мощности, спиральный кабель 10 футов (3 м)
    782-900-007 Full Rack Extender - установка одного SQC-310 или Composer Elite в 19-дюймовую стойку (включая заглушку)
    782-900-016 Адаптер для стойки - установка двух контроллеров SQC-310 в 19-дюймовую стойку
    782-502-097-G1 Опциональная плата Ethernet
    782-502-096-G2 Опциональная плата USB
    Комплект осцилляторов (Включая осцилятор и кабели)
    783-500-109-10 Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов)
    783-500-109-25 Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов)
    783-500-109-50 Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов)
    783-500-109-75 Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов)
    Только осциллятор (Кабели в комплект не входят)
    783-500-013 OSC-100 только осциллятор (без кабелей)
    Кабели
    782-902-011 Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама
    782-902-012-10 Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа
    782-902-012-25 Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа
    782-902-012-50 Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа
    782-902-012-75 Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы для мониторинга Кварцевые кристаллы для мониторинга
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.