• print this site
Кристалл кварц PVD-процесс мониторинг скорость осаждения тонких пленок, сбора точных данных измерений, оптимизации применения и автоматизации процесса в сочетании с контроллером. Купить, заказать Inficon XTC/3.

Контроллер осаждения тонких пленок XTC/3

Улучшенный контроль скорости для одного или нескольких слоев

Теперь Вы получите все, что вам было необходимо, в контроллере для нанесения тонких пленок для одно- и многослойных процессов. Контроллер напыления тонких пленок XTC/3 обеспечивает высокоточный контроль скорости осаждения и толщины покрытия, возможность нанесения практически любого количества слоев, простоту установки и чрезвычайно высокую надежность для обеспечения производительности.

INFICON является мировым лидером в области контроля осаждения тонких пленок. Теперь INFICON предлагает прибор с удивительно низкой стоимостью владения, по беспрецедентной цене.

Вне зависимости от ваших потребностей, будь это производство, исследование или разработка, вы найдете точное соответствие в INFICON XTC / 3.

Поддержка INFICON по всему миру

Независимо от того, где вы находитесь, вы получите быстрые ответы, внимательное обслуживание и максимальное время безотказной работы. Имея офисы по всему миру, INFICON является единственным производителем контроллеров напыления тонких пленок, который предлагает вам обслуживание и техническую поддержку на месте - по всему миру.

Функции


  • Доступны версии для однослойных и многослойных покрытий
  • Запатентованная технология ModeLock предотвращает ошибки толщины пленки, вызванные скачкообразным изменением режима
  • INFICON поддерживает Crystal 12®, Crystal Six® и автоматическое переключение кристаллов с двумя датчиками для максимальной производительности
  • Версия для многослойных покрытий XTC/3M поддерживает до 99 процессов, 999 слоев, 32 пленки, 2 датчика и два источника
  • Версия для однослойных покрытий XTC/3S поддерживает до 9 пленок, 2 сенсора и 2 источника
  • Легко считываемые графические ЖК-дисплеи
  • Пленкам и процессам могут быть присвоены уникальные описательные имена для облегчения поиска.
  • Опционально: протокол связи Ethernet
  • Отдельное (компьютер не требуется) или опциональное ПО Windows® для работы с ПК
  • Замена Plug-and-play для контроллеров INFICON XTC/2 (ограничено функциями XTC/2 и набором команд)

    • Области применения

  • Высококачественные оптические покрытия

    • Новости

    Передняя панель XTC/3 была переработана в соответствии с нашими новыми корпоративными стандартами INFICON.

    XTC/3M - это первый "тонкопленочный продукт", в котором реализован новый дизайн, и в настоящее время он поставляется с новыми продуктами.

    Характеристики

    Тип XTC3/S XTC3/M
    Разрешение по частоте ±0.028 Гц @ 6 MГц
         		±0.028 Гц @ 6 MГц
    Диапазон частот измерения 6.0 до 5.0 MГц (фиксированно) 6.0 до 5.0 MГц (фиксированно)
    Интервал измерения 0.25 секунды 0.25 секунды
    Толщина и разрешающая способность по скорость / Измерение (1) ±0.034 Å ±0.034 Å
    Технология измерения ModeLock ModeLock
    Количество процессов 1 99
    Количество слоев 1 999
    Количество материальных прогамм (или пленок) 9 32
    Количество входов датчиков 2 2
    Поддержка датчиков CrystalSix / Crystal 12 Да Да
    Поддержка коммутатора XTAL 2 Да Да
    Количество выходов источника/td> 2 2
    Компьютерные коммуникации RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально
    Макс. скорость передачи дагнных RS232 115.2 KBaud 115.2 KBaud
    Автоматическое реле (кристалл) Да Да
    Количество реле 12, Не назначается по событию 12, Назначается по событию
    Количество программируемых функций реле 1 1
    Функции на реле 1 1
    Напряжение на реле 30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А 30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А
    Количество входов 8 TTL, 24 В (DC) Макс 8 TTL, 24 В (DC) Макс
    Количество программируемых функций ввода 1, Не назначается по событию 1, Назначается по событию
    Количество выходов для записывающего устройства 1 1
    Ручной контроллер питания / ручной контроллер Да Да
    Вытяжной вентилятор Нет Нет
    Режим тестирования Да Да
    Задержка затвора Да Да
    Вторичный инструмент Да Да
    Размеры корпуса пол стойки, высота 2U пол стойки, высота 2U
    Разрешение по скорости и толщине 0.1 Å/с от 0.0 до 99.9 Å/с,
    1 Å/с от 100 до 999 Å/с,
    разрешение толщины дисплея = 1 Å         		0.1 Å/c от 0.0 до 99.9 Å/с,
    1 Å/c от 100 до 999 Å/s,
    разрешение толщины дисплея = 1 Å
    Выбор пленки через вход Да Нет
    Языки пользователя Английский, Китайский Английский, Китайский
    Питли управления PID PID
    Программное обеспечение для работы с ПК Да Да
    Регистрация данных Да Да
    Функция качества и стабильности Да Да
    Образец и удержание (RateWatcher™) Да Да
    Выбор тигля Да Да
    Вход обратной связи тигля Да Да
    Выбор полярности управляющего напряжения Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение
    Код блокировки программы Да Да
    Дисплей с графикой Да Да
    Процессы, помеченные пользователем (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона) Нет Нет
    Маркированные пользователем пленки (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона) Нет Нет
    Контроль датчика переноса Да Да
    Совместимость с XTC/2 RS232 Да (ограниченно) Да (ограниченно)

    (1) Оснастка/плотность = 100/1, основная частота = 6 МГц

    XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

    Аксессуары

    Название Описание
    Одиночный датчик с загрузкой спереди Одиночный датчик с загрузкой спереди
    Двойной датчик с загрузкой cпереди Двойной датчик с загрузкой cпереди
    Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной датчик с охлаждаемым корпусом Двойной датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной сенсор Easy Rate Двойной сенсор Easy Rate
    Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума
    Датчик распыления Датчик распыления
    Датчик Crystal Six Датчик Crystal Six
    Одиночный сенсор Easy Rate Одиночный сенсор Easy Rate
    Датчик Crystal 12 Датчик Crystal 12
    Поворотный датчик RSH-600 Поворотный датчик RSH-600
    Каталожный номер Описание
    780-700-G1 Компьютерный коммуникационный модуль Ethernet
    755-262-G1 Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности)
    780-702-G1 Комплект для монтажа в стойку для одного устройства - предоставляет все необходимые материалы для установки одного устройства XTC/3 в стандартную 19-дюймовую стойку.
    780-702-G2 Комплект для монтажа в стойку для двух устройств - предоставляет все необходимые материалы для монтажа двух устройств XTC/3 бок о бок в стандартной 19-дюймовой стойке.
    779-220-G1 Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 15,2 см (6 дюймов)
    779-220-G2 Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 50,8 см (20 дюймов)
    Комплект осцилляторов (Включая осцилятор и кабели)
    780-611-G15 XIU PKG с кабелем длиной 15 футов (4,6 м) - для использования с XTC/3
    780-611-G30 XIU PKG с кабелем 30 футов (9,1 м) - для использования с XTC/3
    780-611-G50 XIU PKG с кабелем 50 футов (15,2 м) - для использования с XTC/3
    780-611-G100 XIU PKG с кабелем 100 футов (30,5 м) - для использования с XTC/3
    780-612-G15 4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-612-G30 4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с XTC/3
    780-612-G50 4м XIU PKG с кабелем XIU 50 футов (15,2 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-612-G100 4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-613-G15 4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-613-G30 4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-613-G50 4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 50 футов (15,2 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    780-613-G100 4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с XTC/3
    Только осциллятор (Кабели в комплект не входят)
    780-600-G1 XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3
    780-600-G2 XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6
    Кабели
    755-257-G6 Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода
    600-1261-P15 Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P30 Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P50 Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU
    600-1261-P100 Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы для мониторинга Кварцевые кристаллы для мониторинга

    Брошюры

    Руководства по эксплуатации

    Каталоги

    Остальные файлы

    • to top
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.