SQM-160 Монитор осаждения тонких пленок


В SQM-160 используется проверенная технология кварцевых датчиков INFICON для измерения скорости и толщины в процессах нанесения тонких пленок. 2 входа для датчиков являются стандартными, 4 можно заказать дополнительно. 2 выхода для записывающего устройства обеспечивают аналоговые сигналы скорости роста и толщины пленки.

Входы для сенсоров могут быть назначены для различных материалов, усреднены для точного контроля осаждения в больших системах или сконфигурированы для двойного сенсора. Режим выбора скорости позволяет датчику с заслонкой продлить срок службы в высокоскоростных процессах. Показания скорости нанесения пленки 0,1 Å/с или 0,01 Å/с выбираются пользователем. Четыре релейных выхода позволяют SQM-160 управлять заслонками источника или датчика, управлять временем сигнала и уставками по толщине, а также контролировать неисправность кристалла. Цифровые входы позволяют внешним сигналам запускать / останавливать и обнулять показания.

Функции

  • Два измерительных канала в стандартной комплектации, четыре дополнительных - опционально
  • Аналоговые выходы для записи скорости / толщины
  • Опция высокого разрешения: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
  • Стандарт RS-232, опционально USB или Ethernet
  • Характеристики

    Тип SQM-160 Стандарьное разрешение SQM-160 Высокое разрешение
    Входы датчика QCM Стандартно: 2; опционально: 4 Стандартно: 2; опционально: 4
    Диапазон частот измерения Регулировка:
    1.0 МГц мин
    6.5 МГц макс
    Регулировка:
    1.0 МГц мин
    6.5 МГц макс
    Частотное разрешение (1) ± 0.30 Гц ± 0.03 Гц
    Разрешение по скорости и толщине / измерение (2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
    Интервал измерения 0.10 до 2.0 с (регулировка) 0.10 до 2.0 с (регулировка)
    Фильтр измерений 1 до 20 считываний 1 до 20 считываний
    Хранение пленок в памяти 99 99
    Аналоговые выходы Два выхода 0 до 5 В DC, скорость & толщина Два выхода 0 до 5 В DC, скорость & толщина
    Цифровые входы/выходы Четыре входа, четыре релейных выхода Четыре входа, четыре релейных выхода
    Коммуникационные интерфейсы

    Стандартно: RS-232;

    Опционально: USB или Ethernet

    Стандартно: RS-232;

    Опционально: USB или Ethernet

    Питание 100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт 100-120/200-240 В AC, 50/60 Гц, 20 Вт
    Соответствие стандартам ЕС

    1 класс оборудования,

    73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

    1 класс оборудования,

    73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

    Корпус / Монтаж

    1/2-стойки, 3-1/2" высота,

    89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

    1/2-стойки, 3-1/2" высота,

    89 x 213 x 197 мм (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

    Масса 2.7 кг (6 фунты) 2.7 кг (6 фунты)
    ПО Windows (в комплекте поставки)

    Обеспечивает удаленную настройку и работу,

    функции регистрации данных - см. образец

    скриншот справа.

    Обеспечивает удаленную настройку и работу,

    функции регистрации данных - см. образец

    скриншот справа.

    (1) Разрешение указано для интервала измерения 0,10 с
    (2) Оснастка / плотность = 100/1, основная частота = 6 МГц, интервал измерения 0,10 с

    SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

    Аксессуары

    Наименование Описание
    Одиночный датчик с загрузкой спереди Одиночный датчик с загрузкой спереди
    Двойной датчик с загрузкой cпереди Двойной датчик с загрузкой cпереди
    Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной датчик с охлаждаемым корпусом Двойной датчик с охлаждаемым корпусом
    Двойной сенсор Easy Rate Двойной сенсор Easy Rate
    Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума
    Датчик распыления Датчик распыления
    Одиночный сенсор Easy Rate Одиночный сенсор Easy Rate
    Каталожный номер Описание
    782-900-008 19 дюйм. Комплект для монтажа в стойку для одного прибора SQM-160 или CI-100
    782-900-014 Комплект для монтажа в стойку 19 дюймов для двух приборов SQM-160 или CI-100
    782-502-096-G1 Опциональная карта USB
    782-502-097-G1 Опциональная карта Ethernet
    Комплекты осцилляторов (Включая осциллятор и кабели)
    783-500-109-10 Комплект "Осциллятор 3 м (10 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC длиной 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC длиной 3 м (10 футов)
    783-500-109-25 Комплект "Осциллятор 7,6 м (25 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 7,6 м (25 футов)
    783-500-109-50 Комплект "Осциллятор 15,2 м (50 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 15,2 м (50 футов)
    783-500-109-75 Комплект "Осциллятор 22,8 м (75 футов)" - включает осциллятор OSC-100, кабель BNC 15,2 см (6 дюймов) и кабель BNC 22,8 м (75 футов)
    Только осциллятор (Кабели в комплект не входят)
    783-500-013 OSC-100 только осциллятор (без кабелей)
    Кабели
    782-902-011 Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), папа/мама
    782-902-012-10 Кабель BNC, 3 м (10 футов), папа/папа
    782-902-012-25 Кабель BNC 7,6 м (25 футов), папа/папа
    782-902-012-50 Кабель BNC длиной 15,2 м (50 футов), папа/папа
    782-902-012-75 Кабель BNC длиной 22,8 м (75 футов), папа/папа

    Расходные материалы

    Наименование Описание
    Кварцевые кристаллы Кварцевые кристаллы
    Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
    Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.