AUGENT™ OPG550 ОПТИЧЕСКИЙ ПЛАЗМЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ ДАТЧИК
Оптический плазменный датчик INFICON Augent ™ - это компактное и интеллектуальное решение для контроля вакуума. Augent ™ объединяет две сенсорные
технологии в одном компактном устройстве. Датчик контролирует парциальное давление газов в диапазоне от 1 х 10-7 до 5 мбар, и в то же время
измеряет полное давление от атмосферного до 1 х 10-7 мбар. Датчик Пирани предохраняет основной сенсор, путем его отключения при достижения давления выше
20 мбар. В диапазоне измерения от 1 х 10-7 до 5 мбар датчик позволяет обнаруживать такие газы, как кислород, азот, водород или аргон.
Преимущества
Высокоскоростное обнаружение течей позволяет проверить герметичность камеры
Увеличенная производительность
Длительный срок службы, нить накала не перегорает, защита от "прорыва атмосферы"
Устойчив к химическим процессам
Умный алгоритм для легкой интеграции
Компактный дизайн и малые габариты
Надежный и быстрый запуск
Области применения
Проверка камеры на герметичность, более быстрое испытание RoR (метод повышения давления)
Проверка на герметичность вакуумных магистралей (обнаружения внутренних утечек)
Контроль конечной точки в реальном времени
Контроль типа и концентрации газа
Спецификация
| Тип |
|
OPG550 |
| Система измерения |
|
Холодный катод по принципу инвертированного магнетрона и теплопроводность по принципу Пирани |
| Измеряемый диапазон N2 |
мбар |
1х10-7 … 5 |
| Предел обнаружения: |
|
Камера объемом 25 литров |
| O2 течи в методе повышения давления |
мТорр/мин |
>0.3 |
| O2 течи при откачки от атмосферы, с заполнением N2 |
мТорр/мин |
>1 |
| Точность показаний общего давления N2 |
| 1 x 10-7 ... 100 мбар |
% от считывания |
30 |
| 100 ... 1000 мбар |
% от считывания |
50 |
| Повторяемость показаний общего давления N2 |
| 1 x 10-7 ... 100 мбар |
% от считывания |
5 |
| Давление |
Ограничение инертных газов
< 50°C |
бар (абсолютное) |
<10 |
| Температура |
| Рабочая (окр. среда) |
°C |
+5 … +50 |
| Хранение |
°C |
-20 … +70 |
| Прогрев фланца с электронным блоком |
°C |
<80 |
| Прогрев фланца без электронного блока |
°C |
<120 |
| Относительная влажность 30 дней в году |
| Влажность |
% |
<95 (без конденсации) |
| Напряжение питания |
| На датчике |
В (dc) |
+14.5 … +30 |
| Пульсация |
В (p-p) |
<1 |
| Потребляемая мощность |
Вт |
<5 |
| Подключаемый предохранитель |
AT |
1 |
| Выходной сигнал |
| Аналоговый |
В (dc) |
0 … +10 |
| Цифровой |
Цифровой |
RS232C |
| Электрическое подключение |
|
D-Sub, 9-пин, папа |
| Высокое напряжение (в измерительной камере) |
| Напряжение зажигания |
кВ |
<4.5 |
| Рабочее напряжение |
кВ |
<3.3 |
| Метериалы, взаимодействующие с вакуумом |
| Основные |
Основные |
Al2O3, Нерж. сталь 1.4435 |
| Анод |
Анод |
Молибден |
| Ионизационная камера |
Ионизационная камера |
Титан, Нерж. сталь 1.4016 |
| Зажигание |
Зажигание |
Нерж. сталь 1.4310 |
| Вакуумный фланец |
|
DN16 ISO-KF, DN16 CF-R, DN25 ISO-KF, 8-VCR мама |
| Внутренний объем |
см3 (дюйм3) |
<20 (1.22) |
| Масса |
г |
<700 |
|---|
| Размеры |
| Габариты |
мм |
68 x 68 |
| Высота |
мм |
<137 |
| Степень защиты |
|
IP40 |
| Стандарты |
|
CE |
| Кат. номер |
Описание |
| 3OF0-001-010P |
OPG550 9DSub, 16-KF |
| 3OF0-003-010P |
OPG550 9DSub, 16-CF-R |
| 3OF0-006-010P |
OPG550 9DSub, 25-KF |
| 3OF0-00E-010P |
OPG550 9DSub, 8-VCR F |
Аксессуары
| Кат. номер |
Описание |
| 211-001 |
Хомут DN 10-16 ISO-KF |
| 211-002 |
Хомут DN 20-25 ISO-KF |
| 211-066 |
Центрирующее кольцо DN 16 ISO-KF, Inox / FPM |
| 211-068 |
Центрирующее кольцо DN 25 ISO-KF, SS/FPM |
| 213-451 |
Медное уплотнение DN 16 CF; комплект 10 шт. |
| 303-333 |
Диагностический кабель 1,9м (P3) |
Запасные части
| Кат. номер |
Описание |
| 351-590 |
OPG550 запасной сенсор, 16-KF |
| 351-591 |
OPG550 запасной сенсор, 16-CF-R |
| 351-592 |
OPG550 запасной сенсор, 25-KF |
| 351-593 |
OPG550 запасной сенсор, 8-VCR мама |
Спецификации
Брошюры
Руководства
Файлы 3D Step