| Тип |
1000 ... 500 Торр / мбар |
200 ... 1 Торр / мбар |
0.5 ... 0.1 Торр / мбар |
| Точность (1) |
% от показания |
0.2
|
0.2
|
0.4
|
| Температурный эффект |
|
|
|
| на нуле |
процент FS/°C |
0.0025
|
0.0025
|
0.005
|
| в диапазоне |
% от показания / °C |
0.02
|
0.02
|
0.02
|
| Давление, макс. |
кПа (абсолютное) |
400
|
260
|
130
|
| Разрешение |
процент FS |
0.003
|
0.003
|
0.003
|
| Нижняя граница чтения |
процент FS |
0.01
|
0.01
|
0.01
|
| Нижняя рекомендуемая граница считывания |
процент FS |
0.05
|
0.05
|
0.05
|
| Нижнее рекомендуемое контрольное давление |
процент FS |
0.5
|
0.5
|
0.5
|
| Температура |
|
|
|
| При работе (внешняя) |
°C |
+10 … +50
|
+10 … +50
|
+10 … +50
|
| Прогрев на фланце |
°C |
≤110
|
≤110
|
≤110
|
| При хранении |
°C |
–20 … +85
|
–20 … +85
|
–20 … +85
|
| Потребляемое напряжение |
|
+14 … +30 VDC или
±15 V (±5%)
|
+14 … +30 VDC или ±15 V (±5%)
|
+14 … +30 VDC или ±15 V (±5%)
|
| Потребляемая мощность |
|
|
|
| Во время нагрева |
Вт |
≤16
|
≤16
|
≤16
|
| При рабочей температуре |
Вт |
≤11
|
≤11
|
≤11
|
| Выходной сигнал (аналоговый) |
В (DC) |
0 … +10
|
0 … +10
|
0 … +10
|
| Время отклика (2) |
мс |
2
|
2
|
2
|
| Степень защиты |
|
IP 30
|
IP 30
|
IP 30
|
| Стандарты |
|
|
|
| CE соответствие |
|
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS
|
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS
|
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHS
|
| ETL сертификация |
|
UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
|
UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
|
UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
|
| SEMI соотвтствие |
|
SEMI S2
|
SEMI S2
|
SEMI S2
|
| Электрическое подключение |
|
D-sub, 15 pole, папа
|
D-sub, 15 pole, папа
|
D-sub, 15 pole, папа
|
| Уставки |
|
|
|
| Количество уставок |
|
2 (SP1,SP2)
|
2 (SP1,SP2)
|
2 (SP1,SP2)
|
| Релейные контакты |
В (DC)
|
≤30
|
≤30
|
≤30
|
| Гистерезис |
процент FS |
1
|
1
|
1
|
| Диагностический порт |
|
|
|
| Протокол |
|
USB
|
USB
|
USB
|
| Считывание |
|
давление, статус, ID
|
давление, статус, ID
|
давление, статус, ID
|
| Настройка |
|
уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока
|
уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока
|
уставки, фильтр, регулировка нуля, сброс к заводским настройкам, смещение постоянного тока
|
| Материалы, взаимодействующие с вакуумом |
|
Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), нержавеющая сталь(AISI 316L (4))
|
Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4))
|
Оксид алюминия (керамика) (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L (4))
|
| Внутренний объем |
|
|
|
| Вн. объем 1/2'' трубка |
см ³ (дюйм. ³) |
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
| Вн. объем DN 16 ISO KF |
см ³ (дюйм. ³) |
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
| Вн. объем DN 16 CF-R |
см ³ (дюйм. ³) |
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
| Вн. объем 8 VCR® |
см ³ (дюйм. ³) |
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
4.2 (0.26)
|
| Вес |
|
|
|
| Вес 1/2'' трубка |
г |
837
|
837
|
837
|
| Вес DN 16 ISO KF |
г |
852
|
852
|
852
|
| Вес DN 16 CF-R |
г |
875
|
875
|
875
|
| Вес 8 VCR® |
г |
897
|
897
|
897
|
| EtherCAT |
|
|
|
| Протокол EtherCAT |
|
Специальный протокол для EtherCAT
|
Специальный протокол для EtherCAT
|
Специальный протокол для EtherCAT
|
| Стандарты коммуникации |
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик
|
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Вакуумный датчик
|
| Адрес узла |
|
Явная идентификация устройства
|
Явная идентификация устройства
|
Явная идентификация устройства
|
| Физический слой |
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
|
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
|
| Цифровые функции считывания |
|
давление, статус, ID
|
давление, статус, ID
|
давление, статус, ID
|
| Набор цифровых функций |
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
|
уставки, фильтр, настройка нуля, сброс, смещение постоянного тока
|
| Данные обработки |
|
Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO
|
Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO
|
Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO
|
| Почтовый ящик (CoE) |
|
Запросы SDO, ответы и информация
|
Запросы SDO, ответы и информация
|
Запросы SDO, ответы и информация
|
| EtherCAT разъем |
|
RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT
|
RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT
|
RJ45, 8-pin (разъем), IN and OUT
|
| Кабель |
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше
|
экранированный Ethernet CAT5e или выше
|
| Длина кабеля |
м (фут.) |
≤100 (330)
|
≤100 (330)
|
≤100 (330)
|