Вакуумные датчики (Вакуумметры) BPG400 от атмосферы до сверхвысокого вакуума BAYARD - ALPERT PIRANI


Комбинированный манометр INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG400, функционирует как два датчика в одном компактном устройстве, измеряя от 5 х 10-10 мбар до атмосферы (3,8 х 10-10 Торр до атмосферы). Объединение технологий снижает сложность установки, настройки и интеграции. Выберите BPG400 для доступного и повторяемого процесса для измерения давления в одном экономичном пакете.


Комбинированные датчики с горячим катодом / Пирани серии BPG400 - прямая замена датчикам серии ITR 90:


Кат. номер Тип Кат. номер Тип
353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF = 120 90 ITR 90 DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R = 120 92 ITR 90 DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP ProfiBus, DN 25 KF = 230 030 ITR 90 DN 25 ISO-KF
353-506 BPG400-SP ProfiBus, DN 40 CF-R = 230 031 ITR 90 DN 40 CF-R
353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF = 120 91 ITR 90 DN 25 ISO-KF Displ.
353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R = 120 94 ITR 90 DN 40 CF-R Displ.
354-490 BPG400 Запасной сенсор DN 25 ISO-KF = E 121 02 ITR 90 Запасной сенсор IE90 DN 25 KF
354-491 BPG400 Запасной сенсор DN 40 CF-R = E 121 03 ITR 90 Запасной сенсор IE90 DN CF-R

Преимущества

  • Чрезвычайно широкий диапазон измерения от 5х10-10 мбар до атмосферы (3.8х10-10 Торр до атмосферы).
  • Отличная повторяемость процесса в диапазоне давления от 10-8 … 10-2 мбар -- 5%.
  • Блокировка Pirani защищает систему Bayard-Alpert от преждевременного выгорания нитей и избыточного загрязнения при работе под высоким давлением.
  • Долговечная иридиевая нить, покрытая оксидом иттрия.
  • Опционально доступен дополнительный графический дисплей, а также интерфейсы Fieldbus.
  • Автоматическая регулировка высокого вакуума Pirani уменьшает вмешательство оператора.
  • Соответствие стандарту: RoHS.
  • Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.

Области применения

  • Измерение давления в полупроводниковых процессах и промежуточных (передаточных камерах).
  • Промышленные покрытия.
  • Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.
  • ВАКУУМНЫЕ ДАТЧИКИ (ВАКУУММЕТРЫ) BPG400 BAYARD - ALPERT PIRANI -  от INFICON AG (ИНФИКОН, ЛИХТЕНШТЕЙН технические характеристики параметры информация для заказа

Спецификация

Тип BPG400
Диапазон измерения (воздух, O2, CO, N2) мбар 5х10-10 … 1000
Точность  
10-8 … 10-2 мбар % от показания ±15
Повторяемость  
10-8 … 10-2 мбар % от показания 5
Дегазация (1)  
p < 7.2 х 10-6 мбар электронная бомбардировка, макс 3 мин.
Давление, макс. бар (абсолютное) 2
Температура  
При работе (внешняя) °C 0 … +50
При хранении °C -20 … +70
Прогрев на фланце с расширением °C 150
Прогрев на фланце без расширения °C 80
Прогрев без электроники °C 150
Потребляемое напряжение В (DC) +20 … +28
Выходной аналоговый сигнал  
Выходной сигнал В 0 … +10
Диапазон измерений В +0.774 … +10
Зависимость напряжение - давление В на декаду 0.75
Ошибка сигнала В 0.3 / 0.5
Сопротивление нагрузки, мин. кОм 10
Интерфейс (цифровой) (2) RS232C
Разъем питания D-Sub, 15-pin, папа
Длина кабеля, макс. (3) м (фут) 100 (330)
Материалы, взаимодействующие с вакуумом Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло
Внутренний объем KF / CF см³ (дюйм³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Вес KF / CF г 285 / 550
Степень защиты IP30
Profibus DP  
Скорость обмена kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Адресс 2 свича (switches) (адрес 00 - 127) или программирование через сеть
Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Функция дегазации, регулировка полной шкалы Pirani, контроль состояния вакууметра. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях.
Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B
Реле уставки: Число уставок 2
Реле уставки: Диапазон мбар 1х10-9 … 100
Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал
Реле уставки: Гистерезис % от показания 10
Реле уставки: Диапазон состояния контактов В (DC) 60
Разъем для Profibus DP D-Sub, 9-pin, мама
Разъем BPG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа
DeviceNet™  
Протокол DeviceNet™, только группа 2 slave
Скорость передачи данных kBaud 125, 250, 500 или программируется через сеть
длина кабеля 125 kbps м (фут) 500 (1650)
Длина кабеля 250 kbps м (фут) 250 (825)
Длина кабеля 500 kbps м (фут) 100 (330)
MAC ID 2 свича switches (адреса 00 - 63) или программируется через сеть
Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Функция дегазации, регулировка полной шкалы Pirani, контроль состояния вакууметра. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях.
Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B
Спецификации DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Тип устройства ''CG'' для комбинации датчиков
I / O slave messaging только опрос
Реле уставки: Количество уставок 2
Реле уставки: Диапазон мбар 1х10-9 … 100
Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал
Реле уставки: Гистерезис % от показания 10
Реле уставки: Диапазон состояния контактов В (DC) 60
Потребляемое напряжение DeviceNet™ В (DC) +11 … +25
Потребляемое напряжение датчиком for gauge В (DC) +20 … +28
Разъем для DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Разъем для BPG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа

1) Снижение точности во время дегазации

2) Одновременное использование контроллеров серии RS232C или VGC40x и контроллера Fieldbus не допускается.

3) Для работы RS232C <30 м

Номер по каталогу

BPG400
Номер по каталогу Описание
353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R
353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506 BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508 BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
354-491 Запасная головка датчика BPG400, DN 40 CF-R
354-490 Запасная головка датчика BPG400, DN 25 ISO-KF

Аксессуары

BPG400
Номер по каталогу Описание
353-511 Источник питания BPG400 24VDC
353-510 Удлиненная трубка датчика 100 мм
353-512 Сетка для BPG400
211-113 Центрирующее кольцо с сеткой DN 25 KF
Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.