Вакуумные датчики (Вакуумметры) BPG402-Sx от атмосферы до сверхвысокого вакуума BAYARD - ALPERT PIRANI


Комбинированный вакуумметр INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, функционирует как два датчика в одном компактном устройстве, измеряя от 5 х 10-10 мбар до атмосферы (3,8 х 10-10 Торр до атмосферы). Объединение технологий снижает сложность установки, настройки и интеграции. Выбирайте BPG402-S с двумя иридиевыми нитями, покрытыми оксидом иттрия, для доступного и повторяемого процесса измерения базового давления в одной экономичной упаковке. Чувствительные элементы с данными калибровки на борту гарантируют высокую воспроизводимость при замене датчиков.


Комбинированный вакуумметр: горячий катод (2 нити накаливания) / Пирани серии BPG402-S - является прямой заменой датчиков серии ITR 200 от Leybold:


Кат. номер Тип Кат. номер Тип
353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF = 230 250 ITR 200 S DN25 KF
353-574 BPG402-SP ProfiBus, DN 25 ISO-KF = 230 252 ITR 200 SP DN25 KF, PB
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R = 230 254 ITR 200 S DN40 CF-R
353-576 BPG402-SD DeviceNet, DN 25 ISO-KF = 230 253 ITR 200SD DN25 KF, DevNet
353-575 BPSG402-SP ProfiBus, DN 40 CF-R = 230 256 ITR 200 SP DN40CF-R, PB
353-577 BPG402-SD DeviceNet, DN 40 CF-R = 230 257 ITR 200 SD DN40 CF-R, DevNet
353-572 BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF = 230 251 ITR 200 S DN25 KF, дисплей
353-573 BPG402-S LCD, DN 40 CF-R = 230 255 ITR 200 S DN40 CF-R, дисплей
353-578 BPG402-SL DN 40 CF-R, длинная трубка = 230 258 ITR 200 SL DN40 CF-R, длинная трубка
354-494 BPG402 Запасной сенсор DN25 KF = 240 020 ITR 200 S Запасной сенсор DN25 KF
354-495 BPG402 Запасной сенсор, DN40 CF-R = 240 021 ITR 200 S Запасной сенсор, DN40 CF-R
354-496 BPG402-SL Запасной сенсор, DN40 CF-R = 240 022 ITR 200 SL Запасной сенсор, DN40 CF-R

Преимущества

  • Чрезвычайно широкий диапазон измерения от 5х10-10 мбар до атмосферы (3.8х10-10 Торр до атмосферы).
  • Отличная повторяемость процесса в диапазоне давления от 10-8 … 10-2 мбар -- 5%.
  • Блокировка Pirani защищает систему Bayard-Alpert от преждевременного выгорания нитей.
  • Две долговечные иридиевые нити, покрытые оксидом иттрия.
  • Опционально доступен дополнительный графический дисплей, а также интерфейсы Fieldbus.
  • Автоматическая регулировка высокого вакуума Pirani уменьшает вмешательство оператора.
  • Легко заменяемый чувствительный элемент с данными калибровки, который гарантирует высокую воспроизводимость.
  • Соответствие стандарту: RoHS.

Области применения

  • Измерение давления в полупроводниковых процессах и промежуточных (передаточных камерах).
  • Промышленные покрытия.
  • Измерение и контроль общего вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума.

Новости

NEW! Цифровой интерфейс EtherCAT доступен теперь!

  • ДАТЧИК высокого вакуума (вакуумметр) BPG402-Sx BAYARD - ALPERT PIRANI -  от INFICON AG (ИНФИКОН, ЛИХТЕНШТЕЙН технические характеристики параметры информация для заказа

Спецификация

Тип BPG402-S
Диапазон измерения (воздух, O2, CO, N2) мбар 5х10-10 … 1000
Точность  
10-8 … 10-2 мбар % от показания ±15
Повторяемость  
10-8 … 10-2 мбар % от показания 5
Дегазация (1)  
p < 7.2 х 10-6 мбар электронная бомбардировка, макс 3 мин.
Давление, макс. бар (абсолютное) 2
Температура  
При работе (внешняя) °C 0 … +50
При хранении °C -20 … +70
Прогрев на фланце без электроники BPG402-S °C 80
Прогрев на фланце без электроники BPG402-SL °C 150
Потребляемое напряжение В (DC) +20 … +28
Выходной аналоговый сигнал  
Выходной сигнал В 0 … +10
Диапазон измерения В +0.774 … +10
Зависимость напряжение - давление В на декаду 0.75
Ошибка сигнала V 0.1 / 0.3 / 0.5
Сопротивление нагрузки, мин кОм 10
Реле уставки  
Число уставок 1
Диапазон мбар 1х10-9 … 100
Релейные контакты нет, свободный потенциал
Гистерезис % от показания 10
Диапазон состояния контактов В (DC) ≤30
Цифровые функции дегазация
Интерфейс (цифровой) (2) RS232C
Контроль эмиссии автоматический / ручной через интерфейс
Нить две иридиевые (Ir), покрытые Yt2O3
Статус нити / реле LED / реле
Разъем питания D-Sub, 15-pin, папа
Длина кабеля, макс. (3) м (фут) 100 (330)
Материалы взаимодействующие с вакуумом Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло
Внутренний объем KF / CF см³ (дюйм³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Вес KF / CF г 450 / 710
Степень защиты IP30
Profibus DP  
Скорость обмена kBaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Адрес 2 свича (switches) (адрес 00 - 127) или программирование через сеть
Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Контроль эмиссии, функция дегазации, контроль состояния датчика, коньтроль состояния нити накала. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях.
Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B
Реле уставки: Число уставок 2
Реле уставки: Диапазон мбар 1х10-9 … 100
Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал
Реле уставки: Гистерезис % от показания 10
Реле уставки: Диапазон состояния контактов В (DC) ≤30
Разъем для Profibus DP D-Sub, 9-pin, мама
Разъем для CDG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа
DeviceNet™  
Протокол DeviceNet™, только группа 2 slave
Скорость передачи данных kBaud 125, 250, 500 или программируется через сеть
Длина кабеля 125 kbps м (фут) 500 (1650)
Длина кабеляh 250 kbps м (фут) 250 (825)
Длина кабеля 500 kbps м (фут) 100 (330)
MAC ID 2 свича switches (адреса 00 - 63) или программируется через сеть
Цифровые функции Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Контроль эмиссии, функция дегазации, контроль состояния датчика, контроль состояния нити накала. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях.
Аналоговые функции 0 … 10 В аналоговый выход индикации давления, две реле уставки A + B
Спецификация DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Тип устройства ''CG'' для комбинации датчиков
I / O slave messaging только опрос
Реле уставки: Число уставок 2
Реле уставки: Диапазон мбар 1х10-9 … 100
Реле уставки: Релейные контакты нет, свободный потенциал
Реле уставки: Гистерезис % от показания 10
Диапазон состояния контактов В (DC) ≤30
Потребляемое напряжение DeviceNet™ В (DC) +11 … +25
Потребляемое напряжение на датчике В (DC) +20 … +28
Разъем для DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Разъем для BPG (аналоговый выход, потребляемое напряжение, уставки) D-Sub, 15-pin, папа
EtherCAT  
Протокол EtherCAT специализированный протокол для EtherCAT
Стандарты связи ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
Адрес узла Явная идентификация устройства
Физический уровень 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Цифровые функции EtherCAT Считывание давление, выбор единиц измерения: Торр, мбар, Па. Контроль эмиссии, функция дегазации, контроль состояния датчика, контроль состояния нити накала. Безопасное состояние позволяет определить поведение в случае ошибки, дает подробную информацию о сигналах тревоги и предупреждениях.
Данные обработки Исправлено отображение PDO и настраиваемое отображение PDO.
Почтовый ящик (CoE) Запросы SDO, ответы и информация
Разъем EtherCAT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Кабель Экранированный Ethernet CAT5e или выше
длина кабеля м (фут) ≤100 (330)

1) Снижение точности во время дегазации

2) Одновременное использование контроллеров серии RS232C или VGC40x и контроллера Fieldbus не допускается.

3) Для работы RS232C <30 м

Номер по каталогу

BPG402-S
Номер по каталогу Описание
353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577 BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 Запасная головка датчика BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495 Запасная головка датчика BPG402 DN 40 CF-R

Аксессуары

BPG402-S
Номер по каталогу Описание
353-511 Источник питания BPG400 24VDC
353-512 Сетка для BPG400
211-113 Центрирующее кольцо с сеткой DN 25 KF
Официальный дилер Inficon в России info@inficon.ru тел. (495) 229-23-10 факс. (495) 675-50-64
Любое коммерческое использование представленных на сайте материалов без ведома и письменного разрешения не допускается и будет преследоваться согласно российскому и международному законодательству.